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  1. (School of Electrical Engineering, Korea University, Seoul, Korea.)



Laser induced graphene, PdCu, Ethanol, Enzymatic, Electrodeposition

1. 서 론

음주운전 검사와 의료 진단 분야에서 혈중 알코올의 정량적 측정은 매우 중요하고,(1,2), 식품, 음료 산업을 포함한 일부 산업 분야의 발효과정과 제품의 품질 조절에도 에탄올의 정밀한 측정이 필요하다(3,4). 소변, 혈청, 혈액 분석과 같은 임상 진단 분석에 에탄올 농도 측정 결과가 사용되는데(5), 혈액 내의 에탄올 농도가 1.0 mg/mL 이상에서 정신 혼란 및 인지기능 장애를 유발하고 3.0 mg/mL 이상에서 사망을 유발한다(6).

에탄올 분석법으로는 비색법(colorimetry)(7), 분광측정법(spec- trophotometry)(8), 화학 발광 분석(chemiluminescence)(9), 크로마토그래피(chromatography)(10) 방법 등이 존재한다. 하지만 이러한 분석법은 비용이 비싸고 시간이 오래 걸리며(11), 숙련된 기술자가 필요하다는 단점이 있다. 하지만 전기화학 분석법은 상대적으로 비용이 저렴하며 높은 민감도 및 빠른 응답 속도의 장점이 있다(12). 전기화학적 에탄올 측정 방법 가운데 효소 방식은 높은 민감도와 빠른 응답속도를 제공한다고 알려져 있고(5), 특이성이 높아져 시료 처리가 간단해진다(13). 효소를 사용한 에탄올의 전기화학적 반응식은 식 (1)과 같다.

(1)
Ethanol $+\mathrm{O}_{2} \stackrel{\text { AOx }}{\longrightarrow}$ Acetaldehyde $+\mathrm{H}_{2} \mathrm{O}_{2}$

에탄올이 알코올 산화 효소인 AOx와 반응해 산소를 소모하며 과산화수소와 아세트알데하이드를 생성하는데, 일반적으로 산소 농도의 감소나 과산화수소의 농도 증가를 측정함으로써 용액 내의 에탄올 농도 측정이 이루어진다(14).

과산화수소의 촉매역할을 하는 금속은 백금, 루테늄, 이리듐, 팔라듐 등 다양하게 존재한다(15). 그 중 팔라듐은 다른 금속에 비해 높은 촉매 활성으로 많은 주목을 받는데(16), 팔라듐에 구리를 더한 합금을 이용하면 과산화수소의 촉매 활성이 더 향상된다는 연구가 보고된 바 있다(17,18).

유리질 탄소(glassy carbon)나 그래파이트(graphite)와 같은 탄소기반의 전극을 센서 전극으로 종종 사용하는데, (1,11,19), 본 연구에서는 최근 James M. Tour 연구진에서 발표한(20) 3D 다공성 구조인 레이저 유도 그래핀(Laser induced graphene, LIG)을 에탄올 센서의 작업 전극(working electrode, W.E.)에 적용하여 센서를 제작하였다. LIG 공정은 원스텝 공정으로 탄소 전극 제작공정이 간단하며(21), 3D 다공성 구조로 표면적이 넓고(22), 높은 전기 전도도를 가지는 장점이 있다(23).

본 연구에서는 폴리이미드(polyimide, PI) 필름에 CO 레이저를 조사하여 다공성 LIG 전극을 제작하고 과산화수소의 촉매층으로 PdCu를 전기도금하였다. 그 위에 에탄올 측정을 위한 알코올 산화효소(alcohol oxidase, AOx)를 도포하여 에탄올 센서를 제작하였다. FE-SEM(Field emission scanning electron microscope)을 이용해 전극의 표면을 분석하였고, 라만 분광법(Raman spectroscopy)으로 LIG 구조 분석을 하였으며, EDS (Energy-dispersive X-ray spectroscopy)로 전기도금된 Pd와 Cu의 비율을 확인하였다. 또한 제작한 에탄올 센서를 순환전압전류법(cyclic voltammetry, CV)과 전기화학 임피던스 분광법(electrochemical impedance spectroscopy, EIS)으로 분석하였고, 기존에 발표된 타 에탄올 센서들과 성능을 비교하였다.

2. 본 론

2.1 LIG 기반 에탄올 센서 제작

W.E.의 LIG는 250 μm 두께의 PI 필름에 CO 레이저 장비(UNIVERSAL社, VLS2.30)로 레이저를 조사하여 그림 1(a)와 같이 제작하였다. 레이저 조사는 래스터 모드로, 파워는 10 W로 설정하였다. LIG 전극 제작 후 전극 라인을 보호하기 위해 PI 테이프를 부착했고, 전도성 Cu 테이프를 패드에 부착했다.

LIG 전극에 과산화수소의 촉매 역할을 하는 Pd와 Cu를 전기도금하기 위해 순환전압전류법을 사용하였다. 전기도금 용액은 0.1 M의 HClO (Sigma Aldrich社, USA)에 PdCl(Sigma Aldrich社, USA)와 CuCl (Sigma Aldrich社, USA)를 섞어 제작하였다. 전기도금의 인가전압은 -0.6 V ~ 0.5 V, 스캔율은 20 mV/s, 10번의 사이클로 설정하였고 상온에서 진행되었다. 그림 1(b)는 LIG 전극 위에 PdCu가 전기도금된 사진이며, PdCl와 CuCl의 비율은 따로 실험으로 최적의 조건을 찾았다.

LIG 전극에 PdCu를 전기도금한 후, 그림 1(c)와 같이 AOx (Sigma Aldrich社, ) (30 Units/mg protein)를 도포하기 전에 AOx의 고정화를 위해 키토산(chitosan, Chit)(24) 1 wt%을 LIG 전극에 도포 후, 크로스링커 역할을 하는 2% 글루타알데하이드(glutaraldehyde, GA)(25)를 도포하였다. 그 후 AOx를 도포한 뒤 4 °C 냉장고에서 12시간 고정화해서 에탄올 센서를 그림 1(d)와 같이 제작하였다.

그림. 1. LIG 전극 기반 에탄올 효소 센서 공정도 (a) LIG 패턴 (b) PdCu 전기도금 (c) Chitosan/GA/AOx 도포 (d) 제작한 에탄올 센서 사진

Fig. 1. LIG electrode based enzymatic ethanol sensor process flow (a) LIG pattern (b) PdCu electrodeposition (c) Chitosan/GA/AOx drop-casting (d) image of the fabricated ethanol sensor

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2.2 에탄올 센서의 작업 전극 제작 조건 최적화

2.2.1 PdCl2와 CuCl2의 최적 조건 비율

촉매역할을 하는 Pd와 Cu가 W.E.의 LIG 위에 도금되는 비울에 따라 에탄올 센서의 출력이 변할 것이 예상되어서, 동일한 에탄올 농도에서 센서의 출력이 최대가 되는 조건을 찾는 실험을 수행했다. W.E.의 LIG 위에 전기도금되는 Pd와 Cu의 최적 비율을 얻기 위해 전기도금 용액 내 PdCl와 CuCl의 비율을 1:9, 3:7, 5:5, 7:3, 9:1 (단위: mM)인 조건에서 전기도금한 센서들의 출력을 비교하였다. 그림 2에서 PdCl와 CuCl의 비율이 7:3인 경우 출력값이 가장 높았고, 이는 PdCu를 전기도금한 과산화수소 센서 연구와 동일한 비율이다(26,27).

2.2.2 AOx 도포 양 최적 조건 실험

W.E 전극에 도포하는 AO의 최적 양을 찾기 위해 AOx의 도포 양을 1, 2, 3, 4, 5 μL로 다르게 도포한 센서들로 동일한 10 mM 에탄올 용액을 이용하여 측정하였고 그 가운데 가장 높은 출력 신호를 얻은 AOx 도포 양을 최적의 양으로 설정하였다. 그림 2는 AOx 도포 양에 따라 측정된 전류값을 가장 높은 측정값으로 정규화(normalization)하여 비교한 그래프인데, AOx가 3 μL일 때 가장 높은 출력 전류값이 측정되었고, 3 μL 이상에서는 전류가 감소함을 보인다. 그 원인은 전극에 3 μL보다 더 많은 양의 AOx를 전극에 도포하면 효소층이 최적의 두께보다 더 두꺼워져서 에탄올과 AOx의 반응 생성물인 과산화수소가 전극으로의 확산을 방해하는 것으로 판단된다.

2.2.3 PBS pH에 따른 실험

효소는 pH 값에 의해 영향을 받는다고 알려져서(28), 에탄올 효소 센서 실험 시 PBS의 pH를 6.0, 6.5, 7.0, 7.5, 8.0으로 바꿔가며 실험을 진행하였다. 그림 2를 보면 PBS의 pH가 7.0일 때 가장 높은 출력값을 얻었고, 이는 다른 탄소기반 전극의 에탄올 효소 센서(11,19,29)의 연구 결과와 일치한다.

그림. 2. 작업 전극 최적화 실험 결과 (Pd와 Cu 비율, AOx 도포 양, PBS pH, 에탄올 농도: 10 mM, 인가전압: -0.05 V, n=5)

Fig. 2. W. E. optimization experiment results (Pd:Cu ratio, AOx drop-casting volume, PBS pH, ethanol concentration: 10 mM, applied potential: -0.05 V, n=5)

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2.3 제작한 LIG 및 LIG/PdCu의 물리적 분석

2.3.1 LIG 전극 성분 및 구조 분석

LIG 전극의 성분 및 구조를 확인하기 위해 라만 분광기(HORIBA社, LabRam ARAMIS IR2)를 사용하여 분석하였다. 그림 3은 1350 cm, 1580 cm, 2700 cm에서 총 세 개의 뚜렷한 D 피크, G 피크, 2D 피크를 보인다. D 피크는 결함이나 구부러진 sp2 탄소 결합에 의해 발생되며(20), G 피크는 graphite의 G 피크이며(31), 2D 피크는 2차 영역 경계 (second order zone-boundary)에 의해 발생한다(20). 제작된 LIG의 그래핀 층수의 식별은 2D 피크와 G 피크의 강도의 비율을 통해 확인할 수 있는데, I/I가 1.8 이상이면 단층 그래핀, 1.8과 0.8 사이이면 이중 그래핀, 0.8 이하이면 다층 그래핀이라고 알려져 있다(32). 제작한 LIG 전극의 I/I는 0.61로 다층 그래핀의 형태임을 확인하였다. 따라서 제작한 LIG 전극은 3차원의 다공성 구조를 가지며 다층 그래핀으로 이루어져 있음을 확인하였다.

그림. 3. PI 필름과 LIG의 라만 스펙트럼

Fig. 3. Raman spectrum of the PI film and the LIG

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2.3.2 LIG 전극 위 PdCu 전기도금 결과 분석

PdCu 전기도금 전후의 LIG 전극 표면의 형태를 비교하기 위해 FE-SEM(HITACHI社, S-4300)으로 전극을 촬영하고 전기도금된 Pd와 Cu의 비율을 확인하기 위해 EDS 분석을 진행하였다. 그림 4(a)는 PdCu 도금 전의 LIG의 다공성 FE-SEM 이미지이다. PI 필름에 CO 레이저를 조사하면 LIG 형성 시 발생하는 기체의 방출로 인해 다공성 구조가 형성된다고 보고된 바 있다(30).

그림 4(b)에서는 PdCu를 전기도금한 후 구 형태의 모습이 LIG에 붙어있음을 확인할 수 있다. 이를 통해 PdCu가 LIG에 전기도금 된 것을 확인할 수 있다. 그림 4(c)의 EDS 분석 결과 LIG에 전기도금 된 Pd와 Cu의 비율이 약 7:3인 것으로 측정되었다.

그림. 4. PdCu 전기도금 전후의 LIG FE-SEM 및 EDS 분석 결과 (a) PdCu 전기도금 전 (b) PdCu를 7:3으로 전기도금한 후 (c) EDS 분석 결과

Fig. 4. FE-SEM and EDS analysis result (a) Before PdCu electrodeposition (b) After PdCu electrodeposition (c) Results of EDS analysis

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2.4 제작한 에탄올 효소 센서의 전기화학적 분석

제작한 에탄올 효소 센서의 전기화학적 분석을 진행하기 위해 순환전압전류법(cyclic voltammetry, CV)과 전기화학 임피던스 분광법(electrochemical impedance spectroscopy, EIS) 분석을 진행하였다. CV 분석 시에는 에탄올 효소 센서를 사용하여 에탄올 2 mM에서 측정을 진행하였다. 측정 결과를 그림 5(a)에 보였으며, 환원 피크가 -0.05 V에서 발생한 것을 확인할 수 있다. 따라서 전류법 측정 시의 인가전압을 -0.05 V로 결정하였다.

EIS 분석은 1 M의 KNO의 용액과 KFe(CN) 10 mM을 섞은 용액에서 10 mV의 AC 성분을 250 kHz에서 2 Hz까지의 주파수로 인가하며 분석을 진행하였다. 결과는 그림 5(b)에 나타내었다. 그림 5(b)에서 x축이 작은 쪽은 고주파수 영역이며 x축이 증가할수록 저주파수 영역이다. 고주파수 부분의 불완전한 반원 상태는 그래핀 전극 표면의 전하 전달 저항 (Rct)과 이중층 커패시턴스의 결합효과에 의한 결과로 성명된다(33). EIS 분석 결과를 통해 PdCu 전기도금 시 bare LIG에 비해 더 작은 반원을 가져 낮은 전하 전달 저항을 가지는 것을 확인하였다, 이는 전도성이 높은 금속의 전기도금에 의한 결과라 판단되며, LIG/PdCu/Chit/GA/AOx의 경우 가장 큰 반원을 가지는 것을 확인할 수 있는데, 이는 Chit/GA/AOx층이 전극으로의 전자전달을 방해하여 발생된 현상이라고 판단된다.

그림. 5. CV 및 EIS 분석 결과 (a) 에탄올 2 mM에서의 CV 측정 결과 (b) EIS 분석 결과. 우측 하단 그림은 랜들스 등가회로를 나타내고 있음.

Fig. 5. CV and EIS analysis results (a) CV measurement results in ethanol 2 mM (b) EIS analysis results. The lower right image shows the randles equivalent circuit.

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2.5 제작한 에탄올 효소 센서의 에탄올 측정 결과

2.5.1 에탄올 농도에 따른 센서의 전류법 측정 결과

제작한 에탄올 효소 기반 전기화학 센서의 W.E. 구조를 LIG/PdCu/Chit/GA/AOx의 다층 구조로 형성했고, 에탄올 농도에 따른 출력 전류를 상용 포텐쇼스탯(IVIUM TECHNOLOGIES社, Ivium-n-Stat)을 이용해서 전류법으로 측정하였다. 그림 6은 측정한 결과 그래프를 나타내었고, 우측 하단에 실험 셋팅 모식도를 나타내었다. 측정은 상온에서 진행되었다. 측정 결과 0-12 mM의 에탄올 농도 범위에서 17.99 μAmMcm의 민감도를 보이며 선형 범위는 0-12 mM임을 보인다. 14 mM 이상의 농도에서 선형성을 잃는 원인으로는 에탄올 농도가 높아지면 더 많은 양의 과산화수소가 발생하고, 과도한 과산화수소의 농도가 센서의 효소 활성화를 억제하는 효과를 유발할 수 있다고 발표된 바 있다(29).

그림. 6. 에탄올 농도 별 전류값 상관관계 결과 그래프. 우측 하단의 작은 그래프는 측정 셋업을 나타내고 있음.

Fig. 6. A graph of correlation by ethanol concentration. The small graph in the lower right shows the measurement setup.

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2.5.2 타 연구 결과와의 특성 비교

제작한 에탄올 센서의 특성을 타 에탄올 센서의 특성과 비교하여 표 1에 정리했다. 이전에 발표된 에탄올 효소 센서 연구 결과와 비교하여, 본 연구에서 제작한 LIG/PdCu/Chit/GA/AOx는 LIG의 다공성 구조와 에탄올과 효소의 반응 생성물인 과산화수소의 촉매역할을 하는 PdCu로 인해 넓은 선형범위와 높은 민감도를 가짐을 확인하였다.

표 1. 타 에탄올 센서와의 특성 비교

Table 1. Comparison with other ethanol sensors

Electrode

Linear range (mM)

Sensitivity (μAmMcm)

Ref.

MWCNT/PF-g-PEG/AOx

0.0085-5.95

7.99

19

Graphite/PMCCH/AOx

NR*

4.79

29

GCE/MWCNT/PyBA-AOx

1.0-3.0

13.1

34

SPE/CB/PBNPs/AOx

0-10

9.13

35

LIG/PdCu/Chit/GA/AOx

0-12

17.99

This work

NR*: Not reported

2.5.3 선택성 실험 결과

술에는 에탄올 성분 외에 포도당, 아세트산, 아스코르브산 등이 존재할 수 있고(35) 체액 속에는 젖산과 요산 등이 존재할 수 있는데(36), 이들에 대한 선택성 확인을 위한 실험을 진행하였다. 제작한 에탄올 센서를 PBS 용액에 넣은 후 간섭물질을 순서대로 0.5 mM 씩 첨가하며 전류를 측정하다가 에탄올 2 mM 첨가 후의 전류를 측정하여 결과를 비교하였다. 그림 7을 보면 에탄올을 제외한 6가지 물질에서는 전류가 매우 적은 값들이 측정됨을 확인할 수 있고, 에탄올에서만 전류가 상당히 증가함을 확인하였다. 이를 통해 제작한 에탄올 센서가 에탄올에만 선택적으로 반응하는 것을 확인할 수 있다.

그림. 7. 제작한 에탄올 센서의 선택성 실험 결과 그래프 (PBS pH: 7.0, Pd와 Cu의 비율: 7:3, AOx 도포 양: 3 uL, 인가전압: -0.05 V, n=5)

Fig. 7. Graph of the result of the selectivity experiment of the fabricated ethanol sensor (PBS pH: 7.0, ratio of Pd and Cu: 7:3, amount of AOx drop-casting: 3 uL, applied potential: -0.05 V, n=5)

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3. 결 론

본 연구에서는 250 μm 두께의 PI 필름에 CO 레이저를 조사하여 제작된 LIG 전극에 에탄올과 효소의 반응 생성물인 과산화수소의 촉매 역할을 하는 PdCu를 전기도금하고 AOx를 도포하여 에탄올 센서를 제작하고 그 특성을 분석하였다. 최적의 조건을 찾기 위해 Pd와 Cu의 비율에 따른 실험, AOx 도포 양에 따른 실험, PBS pH에 따른 실험을 통해 효소 기반 전기화학 에탄올 센서 제작과 구동을 위한 최적의 조건을 찾았다. 그 후 LIG 및 LIG/PdCu의 구조를 FE-SEM 분석으로 하였으며, 전기도금 된 Pd와 Cu의 비율을 확인하기 위해 EDS 분석을 진행하였고, 전기도금 된 Pd와 Cu의 비율이 최적화 실험에서 구한 7:3의 비율과 일치함을 확인하였다. 또한, FE-SEM과 라만 스펙트럼 분석을 하여 제작한 LIG W.E. 전극이 다공성 구조의 다층 그래핀임을 확인하였다.

제작된 에탄올 센서를 CV 분석을 통해 전류법 측정 시의 인가전압을 -0.05 V로 결정하였으며, EIS 분석을 통해 PdCu를 전기도금 함으로써 전자전달 능력이 우수함을 확인하였다. 또한, 전류법 측정결과 0-12 mM의 에탄올 농도에서 상관계수가 0.99인 우수한 선형성을 보였고, 민감도는 17.99 μAmMcm을 보여서 이전의 에탄올 센서의 연구결과와 비교하여 우수한 특성을 보였으며, 선택성 실험을 통해 제작한 에탄올 센서가 다른 물질과는 반응하지 않고 에탄올에만 반응하는 것을 확인하였다. 본 논문에서 소개된 에탄올 센서 제작 방법은 다양한 센서 개발에 유용하게 적용 가능할 것이라 판단된다.

Acknowledgements

This research was partly supported by the R&D program of MOTIE/KEIT. [10054488, Development of cellular metabolic rate analyzer that can simultaneously measure multiple parameters (pH, dissolved oxygen, and metabolic heat) from less than 1,000 cells] and partly supported by the Basic Science Research Program through the National Research Foundation of Korea (NRF) funded by the Ministry of Science, ICT & Future Planning. [2017R1A2B 4009088, Development of IoT-based wearable multi-sensor for human sweat analysis using laser induced graphene electrode]

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저자소개

정해택 (Haetaek Jeong)
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Haetaek Jeong received the B.S. degree in electronic engineering at Kookmin University, Seoul, Korea, in 2019.

Currently, he is working toward the M.S. degree in the school of electrical engineering at Korea University, Seoul, Korea

E-mail : wjdgoxor2080@naver.com

박상현 (Sang hyun Park)
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Sang hyun Park received the B.S. degree in Display semiconductor physics at Korea Univer- sity, Sejong, Korea, in 2017.

Currently, he is working toward the Ph.D. degree in the school of electrical engineering at Korea University, Seoul, Korea

E-mail : yh99gosh22@korea.ac.kr

강승조 (Seung-Jo Kang)
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Seung-Jo Kang received the B.S. degree in Advanced Materials Science and Engineering and Information Display Engineering at Dejin University, Pocheon Korea, in 2015.

Currently, he is working toward the Ph.D. degree in the school of electrical engineering at Korea University, Seoul, Korea

E-mail : fontaine104@korea.ac.kr

박정호 (James Jungho Pak)
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James Jungho Pak received the B.S., M.S., and Ph.D. degrees in electrical engineering from Purdue University, USA, in 1985, 1988, and 1992, respectively.

He was a Senior Device Physicist at Intel Corporation, USA, from 1992 to 1995.

Currently, he is a Professor in the School of Electrical Engineering, Korea Univer- sity, Seoul, Korea.

His research interests include laser induced graphene/MXene and applications, microsystems including bio/chemical sensors, flexible/wearable electronics/sensors, and novel semiconductor devices and processing.

E-mail : pak@korea.ac.kr