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  1. (Dep. of Electrical & Control Engineering, Cheongju University, Korea)



NEG Coating, electromagnetic coil, solenoid coils, magnetic field, Single winding, Double winding

1. 서 론

비 증발형 게터(Non Evaporator Getter : NEG) 펌프는 반도체 장비 및 가속기 등 진공이 필요한 장비에서 수소 배기를 위하여 초고진공 및 극 고진공 챔버에서 주로 사용하는데 이때 코팅을 위해서는 수소 배기를 위한 NEG 물질 증착이 필요하고 이를 위하여 파이프 주변 증착 타겟 점 주변의 자기장 형성이 중요하다. 그림 1은 NEG 증착 시스템의 형상을 나타낸 것이다. 코일은 NEG 증착을 위한 RF SOURCE와 더불어 증착의 성능에 영향을 미치는 중요한 기구로 증착의 제어와 동작 신뢰성을 검증하려면 코일의 최적 설계는 반드시 검토해야 한다.

일반적으로 코일 설계 시 솔레노이드(solenoid) 형태를 가장 많이 사용한다[1]. 솔레노이드는 인덕터, 트랜스포머, 안테나 등과 같은 자계 부품으로, 도선(코일)을 원통형으로 감아 만든 기구를 뜻하며 구조와 제조 공정이 간단하여서 주로 생활용품에서의 전자석, 가정용 전자 기구로도 사용되고 국내와 해외 전기산업 부문의 여러 응용 분야에서 폭넓게 사용되며 특히 모터, 발전기, 변압기 등 전기기기 분야에서 에너지 변환 시스템 구현의 효율을 향상 시키는 등의 필요한 자계 부품 요소이다. 코일은 정격 전압과 전류를 인가하면 자기장을 발생시키며 전자석이 된다. 전자석이란 전류가 흐르면 자화되고, 전류를 끊으면 자화되지 않은 원래의 상태로 되돌아가는 자석을 말하는데 전류의 인가와 무관하게 항상 자기를 유지하는 영구자석과 구분되며 NEG 증착의 제어를 위해서는 이와 같은 전자석 코일을 사용해야 한다. 도선에 전류가 흐르면 도선 주위에 자기장이 형성된다[2].

이러한 원리를 이용하여 영구자석으로는 얻을 수 없는 매우 강력한 자기장을 얻을 수 있다. 전자석의 자성체는 어느 정도 자기화가 진행되면 전류를 더 높여도 더 이상 자기화가 진행되지 않는다. 이를 자기 포화상태라고 한다. 솔레노이드는 이러한 원리를 이용하여 전기 에너지를 자기 에너지로 변환시키며, 발생하는 자기 에너지의 힘을 이용해 기기를 작동한다[3].

그림 1. 수소 배기를 위한 NEG 증착 시스템

Fig. 1. NEG coating system for hydrogen exhaust

../../Resources/kiee/KIEE.2024.73.10.1840/fig1.png

일반적으로 코일 설계 시 솔레노이드의 형태를 먼저 선정하는데 솔레노이드 코일을 액츄에이터에 적용했을 때 작은 변위에 대한 직선운동을 가능하게 하고 간단한 구조로 인한 신뢰성과 지속성을 보유하고 있기 때문이다[4].

NEG 증착 시스템에서 적용되는 액츄에이터인 일반적인 솔레노이드 코일은 증착의 높은 신뢰성을 위한 증착 타겟점의 자기장 형성이 매우 중요한데 평면형 코일과 토로이드 형태의 코일은 자기장을 특정 지점에 집중시키기 어렵고 설계 유연성이 떨어지는 등 제한적인 부분이 존재하여 자기장이 집중되고 균일한 분포를 이루는 형상인 솔레노이드 타입을 선정하였다. 본 연구 이전에 3차원 유한요소법을 적용하여 설계와 해석을 진행하였는데 유한요소를 이루는 가장 중요한 부분인 공극에서 해석상 결과와 실제 코일을 제작하였을 때 파라미터의 차이가 발생해 해석의 신뢰성이 떨어져 최종적으로 2차원 유한요소해석을 진행하였다. 따라서 본 논문에서 제안하는 솔레노이드 코일의 형상은 일반적으로 사용되는 솔레노이드 타입에서 증착 타겟 점의 자속밀도를 높이기 위해 기존의 단층권 모델에서 이층권 모델로 설계를 진행하였다[5]. 그리고 NEG 증착용 전자석 코일의 성능 향상을 위한 설계를 전자기 시뮬레이션 프로그램인 Ansys Maxwell Magnetostatic을 이용하여 2차원 유한요소해석을 진행해 검토하였고, 기존 모델과 새로운 모델의 증착 타겟 점에서의 자기장 형성을 비교하였다.

2. 솔레노이드 코일의 원리

2.1 솔레노이드 코일 이론

솔레노이드는 원통형의 구조물에 코일을 여러 겹 감아 만든 기구이다. 솔레노이드의 특징은 전류를 인가하면 자기장을 생성하지만 외부에는 생성하지 않고 내부에만 생성하게 된다. 이러한 특징으로 솔레노이드는 자기장을 밀집시키며 NEG 증착의 성능을 향상 시키게 된다.

(1)
$\phi =BA=\dfrac{\mu_{0}N I}{l}A[Wb]$

(1)은 솔레노이드의 자속을 나타낸 수식이다. 코일이 $Z$축을 기준으로 감겨있다고 가정하였을 때 $B$는 자속밀도, $A$는 코일의 단면적, $\mu_{0}$는 진공에서의 투자율, $N$는 권선수, $I$는 인가 전류, $l$은 코일의 길이를 나타낸다. 따라서 본 논문의 정량적 목표인 자속밀도의 값을 상승시키기 위해 고정값인 인가 전류와 권선수를 제외한 코일의 길이와 단면적의 파라미터의 변경으로 자기장 형성이 좌우됨을 알 수 있는데 기존의 단층권 모델은 이층권 모델과 비교하였을 때 코일의 길이가 길고 단면적이 얇아 이층권 모델이 자기장 형성이 더 적합하다는 것을 확인할 수 있다.

그림 2. 솔레노이드 코일의 평면 모델

Fig. 2. Planar model of the solenoid coil

../../Resources/kiee/KIEE.2024.73.10.1840/fig2.png

그림 2는 솔레노이드 코일을 2d 평면으로 나타낸 그림이다. 그림에서 P는 솔레노이드 내부의 자속밀도를 나타내는 임의의 점이며 z는 P 점까지의 거리, y는 z와 같은 방향으로 P 점에서 자기장을 생성하는 권선까지의 거리, $a_{1}$은 솔레노이드의 내경, $a_{2}$는 솔레노이드의 외경, L은 솔레노이드의 총길이, 솔레노이드 축상에서 수직인 거리는 r이다. 코일의 단면적인 $L\times(a_{2}-a_{1})$에 코일이 N번 감겨져 있다면 $dydr$에 감겨진 수는 식 (2)과 같다.

(2)
$d N=\dfrac{N}{L(a_{2}-a_{1})}dydr$

그리고 전류가 임의의 점 P에 만드는 자기장은 식 (3)와 같이 표현 된다[6].

(3)
$B=\dfrac{N'I}{2L(a_{2}-a_{1})}\int_{a_{2}}^{a_{1}}dr\left(\dfrac{z}{\sqrt{r^{2}+z^{2}}}+\dfrac{L-z}{\sqrt{r^{2}+(L-z)^{2}}}\right)$

(3)를 다시 전개하면 식 (4)과 같이 표현 되며 식 (3)에서 유도되는 결과는 솔레노이드 코일 내부의 자기장 형성지점이 된다.

(4)
$B=\dfrac{N'I}{2L(a_{2}-a_{1})}\left[\begin{aligned}z\ln\dfrac{a_{2}+\sqrt{a_{2}^{2}+z^{2}}}{a_{1}+\sqrt{a_{1}^{2}+z^{2}}}+\\\\(L-z)\ln\dfrac{a_{2}+\sqrt{a_{2}^{2}+(L-z)^{2}}}{a_{1}+\sqrt{a_{1}^{2}+(L-z)^{2}}}\end{aligned}\right]$

2.2 자기 등가회로

그림 3. 솔레노이드 코일의 자기 등가회로

Fig. 3. Magnetic equivalent circuit of the solenoid coil

../../Resources/kiee/KIEE.2024.73.10.1840/fig3.png

그림 3은 솔레노이드 코일의 간략화된 자기 등가회로의 모습을 나타냈다. 일반적으로 솔레노이드 코일의 자기 등가회로에서 회로정수는 R,L 성분으로 구성되어 있고 권선 간에는 C성분도 일부 포함될 수 있다. 하지만 본 논문에서의 솔레노이드 코일은 완전한 유도성 부하로 가정하였으며 DC 전원을 입력으로 설정하였기 때문에 코일의 인덕턴스만 고려하여 커패시터에 의한 부하 영향은 무시한다[7].

3. 솔레노이드 코일의 설계와 파라미터 선정

3.1 솔레노이드 코일의 설계

그림 4. 솔레노이드 코일의 설계 흐름도

Fig. 4. Design flowchart of the solenoid coil

../../Resources/kiee/KIEE.2024.73.10.1840/fig4.png

솔레노이드 코일의 설계 방법을 설명하기 위하여 그림 4와 같이 솔레노이드 코일의 설계 흐름도를 표현하였다. 모델의 초기 설계 파라미터 선정과 형상, 목표치에 대한 피드백을 화살표로 표현하였다. 그리고 먼저 코일의 초기 기하학적 파라미터인 권선 수, 코일의 길이, 두께 등을 선정, 권선 방식 등을 결정한 후 설계된 모델의 자기장 형성인 전자기적 파라미터를 해석을 통하여 추출한다. 만약 자기장의 형성이 목표치에 도달하지 않는다면 초기 파라미터를 변경 후 재해석을 진행하여야 한다.

3.2 설계조건

그림 5. 솔레노이드 코일 모델의 개략도

Fig. 5. Schematic diagram of the solenoid coil model

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그림 5는 본 논문에서 제안하는 솔레노이드 코일 모델의 형상과 개략도를 보여주고 있다. 그림 5의 (a)는 일반적인 솔레노이드 형상의 모습이고 (b)는 3d 모델의 형상을 2d 축대칭 모델로 나타낸 개략도이다[8]. 솔레노이드 코일 해석 및 설계 시 모델링은 전체 프로세스의 계산 및 결과에 큰 영향을 미친다. 따라서 일반적으로 유한요소해석을 진행할 시 2차원 해석보다 3차원 해석에서 신뢰성이 증가한다[9, 10]. 하지만 해석에서의 공극인 솔레노이드의 피치를 고려하여 3차원 유한 요소 모델을 구축하는 것은 복잡하며 해석의 정확도의 신뢰성이 떨어지는 단점이 발생하는 것을 확인하여 본 논문에서는 2D 축 대칭 모델로 설계를 진행하였고 코일이 축대칭 코일 모델에서 10A가 인가되고 코일의 권수는 단층권(Single winding)은 50번, 이층권(Double winding)은 25번으로 결선하여 설정하여 시뮬레이션 하였다.

3.3 파라미터의 선정

그림 6은 본 논문에서 수소 배기를 위한 NEG 증착용 솔레노이드 코일의 설계 형상을 보여주고 있다. 여기에서 그림 6(a)는 일반적인 솔레노이드 단층권 코일 모델이고 그림 6(b)는 본 논문에서 제안하는 이층권의 솔레노이드 코일 설계 형상을 보여주고 있다. Pipe_L, Pipe_T는 코일이 감기는 파이프의 길이와 두께, Coil_L과 Coil_T는 코일의 길이와 두께, Coil_Id와 Coil_Od는 솔레노이드 코일 모델의 내경과 외경을 나타내었다. 코일에 DC 전압 50v에 10A의 전류가 인가되고 증착이 진행되는 타겟 점의 위치인 Coating Target point에 코일 축 상의 최대 자기장 형성 지점에서 반경 10mm 내의 자속밀도를 해석을 통한 설계를 목적으로 한다.

그림 6. 솔레노이드 코일의 설계 형상

Fig. 6. Design Geometry of a Solenoid Coil

../../Resources/kiee/KIEE.2024.73.10.1840/fig6.png

솔레노이드 코일을 이루는 Material을 코일은 Copper, 파이프는 Aluminum으로 설정하여 실험하였다. 본 논문에서 2차원 유한요소해석을 통하여 단층권과 이층권 모델을 비교할 파라미터를 표 1에 나타내었다.

표 1 솔레노이드 코일 모델의 파라미터

Table 1 parameters of solenoid coil model

Parameter

Single winding

Double winding

Current [A]

10

Pipe_T [mm]

5

Pipe_L [mm]

200

Coil_T [mm]

3.6

Coil_L [mm]

90

180

Coil_id [mm]

47.5

Coil_Od [mm]

56.5

60.5

Turns

50

25*2

4. 유한요소해석

4.1 해석조건

해석을 진행하기 위해 일반적인 단층권 솔레노이드 코일 모델은 코일의 길이를 200mm, 권선수 50으로 설정하였고 새로운 모델은 코일의 길이 100mm, 권선수 25인 이층권으로 설정하였다. 2차원 솔레노이드 코일 모델에 코일이 권선수 만큼 감겨있다고 가정하였고 전류를 10A 각 코일에 인가 후 모델의 자속이 외부로 누설되지 않도록 Boundarie를 설정하였다. 2차원 해석에서는 코일 형상에 전류가 균일하게 분포돼있다고 가정하기 때문에 코일의 전류 밀도는 고려하지 않았고 실제 솔레노이드 코일의 형상처럼 코일과 코일 사이, 코일과 파이프 간의 공극 또한 고려하지 않고 해석을 진행하였다. 증착 타겟점인 내부 최대 중심점에서 반경 10mm 지점의 자기장 형성을 측정하였고 먼저 일반적인 코일 해석을 진행하였을 때의 전자기적 파라미터인 Flux line과 Mesh를 그림 7에 나타내었다.

그림 7. 일반적인 코일 해석의 Flux line과 Mesh

Fig. 7. Flux Lines and Mesh in General Coil Analysis

../../Resources/kiee/KIEE.2024.73.10.1840/fig7.png

Flux line은 코일의 자기장을 선형으로 확인 할 수 있는 전자기적 파라미터이며 그림 7의 Flux line의 형성을 확인하였을 때 외부로 자속이 누설되지 않고 내부에 자기장이 집중되어 형성된 모습을 확인할 수 있다. Mesh는 2차원 유한요소해석을 위해 모델이 해석되는 부분을 분할한 요소이다.

4.2 증착 타겟 점에서의 비교 해석

그림 8은 기존 모델인 단일 권선과 새로운 모델인 이중 권선의 증착 타겟 점에서의 자기장을 해석한 모습이다. 그림 8(a)는 이층권 모델이고 그림 8(b)는 단층권 모델이다. 단층권 모델은 자기장 형성이 파이프의 총길이인 200[mm]에서 넓게 퍼져있는 모습을 보여주고 이층권 모델은 내부에 자기장이 집중되어 형성되는 모습을 보여준다.

그림 8. 솔레노이드 코일의 자기장 비교 해석

Fig. 8. Comparison and Analysis of Magnetic Fields in Solenoid Coils

../../Resources/kiee/KIEE.2024.73.10.1840/fig8.png

따라서 두 모델의 자기장 형성을 비교했을 때 코일 길이와 총 권선수가 같더라도 이중으로 감긴 솔레노이드의 증착 타겟 점에서의 자기장 세기가 더 높은 것을 확인할 수 있다.

그림 9. 거리별 솔레노이드 내부 자기장 형성

Fig. 9. Formation of Internal Magnetic Field in Solenoids at Different Distances

../../Resources/kiee/KIEE.2024.73.10.1840/fig9.png

그림 9는 두 코일 모델의 거리별 솔레노이드 내부의 자기장 형성을 그래프로 나타낸 것이다. 파이프의 길이가 200[mm]이므로 최대중심 자기장 형성지점은 100[mm]의 Distance가 된다. 단일 권선의 자속밀도가 60[Gauss]에 가까운 값이 나오는 반면 이중 권선은 100[Gauss]에 이상으로 NEG 증착의 조건에 부합하는 것을 이 확인할 수 있다. 표 2는 증착 타겟점에서의 두 모델의 자기장 형성을 비교한 모습이다. 증착 타겟점인 코일의 최대중심자기장 형성 지점 100의 Distance에서 반경 10[mm] 까지의 자기장 형성을 해석하였다. 두 모델의 자기장 형성을 비교했을 때 이층권 모델의 증착 타겟 점에서의 목표한 자기장 형성에 도달해 최종 모델로 선정하였다.

표 2 증착 타겟점에서의 자기장 형성

Table 2 Magnetic Field Formation at the Deposition Target Point

Distance [mm]

Single winding

Double winding

1

70.456

101.087

2

70.467

101.094

3

70.485

101.111

4

70.503

101.153

5

70.514

101.207

6

70.529

101.277

7

70.587

101.361

8

70.688

101.461

9

70.721

101.575

10

70.851

101.705

5. 결 론

본 논문에서는 수소 배기를 위한 NEG 증착을 위한 솔레노이드 코일에 사용되는 자기장 형성을 Ansys maxwell 2d를 활용해 유한요소 방법을 이용하여 해석하였다. 솔레노이드 코일의 해석에서 동일한 권선에 동일한 길이의 코일인 경우에도 이층권 모델의 증착 타겟 점의 자기장 형성이 단층권 모델의 증착 타겟 점 보다 높아지는 것을 확인하였고 본 논문에서 제안하는 NEG 증착을 위한 솔레노이드 코일의 설계 방법을 입증하였다. 추후 실험을 통해 증착 타겟점의 자기장 형성을 확인하고 증착의 성능이 향상되는 것을 검증할 예정이다.

Acknowledgements

This work was supported by the Chungbuk Technopark(CBTP) grant funded by the Chungcheongbuk-do Provincial Office.((No.SR230104).

This work was supported by the Korea Science and Engineering Foundation (KOSEF) grant funded by the Korea government(MOST) (No.NRF-2022R1G1A1011838)

References

1 
Hyeong-Ju Seo, A-Rong Kim, Jae-Ho Kim, Minwon Park, & In-Keun Yu (2008). Optimal design of HTS SMES coils by shape. A collection of papers at the academic conference of the Korean Society of Biography.URL
2 
J.-H. Lee, S. Hwang, and D.-Y. Lee, “Magnetic analysis of a finite solenoid,” Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society, vol. 16, no. 10. The Korea Academia-Industrial Cooperation Society, pp. 6453–6457, 31-Oct-2015.DOI
3 
Kim Hee-min, Lee Yong-gyu, and Song Myung-geun. “an interpretation of electromagnetic expansion forces acting on multi-winding solenoid coils.” Journal of the Korean Magnetic Society vol. 30, no. 6, pp. 212-218, 2020.URL
4 
In-Soung Jung, Jin Hur, Sang-Baeck Yoon, & Dong-Seok Hyun, “A Study on the Shape Optimization of Solenoid Actuator,” The transactions of The Korean Institute of Electrical Engineers, vol. 47, no. 9, pp. 1325-1330, 1998.URL
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In-Ho Choi, Chang-Seop Koh, Tae-Kyung Chung, & Song-Yop Hahn, “Finite Element Analysis for Electromagnetic System of Solenoid Actuator,” The transactions of The Korean Institute of Electrical Engineers, vol. 40, no. 11, pp. 1105-1113, 1991.URL
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Kwon, H. Y., “Study on Magnetic Force due to Mutual Inductance between a Magnet and Multi-Layer Solenoids,” Master's thesis, Graduate School, Kyungpook National University, Daegu, South Korea, 2020.URL
7 
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Minchul Ahn, Hongmin Yang, Junyeop Lee, Jae Young Jang, Young Jin Hwang, & SangGap Lee, Design of RT shim coils for HTS NMR magnets, 2019-07-10.URL
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10 
Jeong, S., Ji, S., & Lee, J., “Study on Design Method of Solenoid Valve,” In Proceedings of the Korean Society for Propulsion Engineering Conference. Jeju, South Korea, May 29. 2019.URL

저자소개

박종빈(Jong-Bin Park)
../../Resources/kiee/KIEE.2024.73.10.1840/au1.png

He received a bachelor's degree in electrical control engineering from Cheongju University in 2023. He is currently studying for a master's degree in the Department of Electrical Control Engineering at Cheongju University. His main research interest is electric devices, especially motor design and analysis.

E-mail: qorqod08@naver.com

정형근(Houng-Kun Joung)
../../Resources/kiee/KIEE.2024.73.10.1840/au2.png

He received the bachelor’ s degree in the Department of Electrical Engineering from the Semyung University in 2022. He received the M.S. degree and the Ph.D. degree in the Department of Electrical Engineering From Hanyang University in 2004 and 2017, respectively. From 2011 to 2017, He was an Assistant professor at Korea Polytechnic College. He has been an Assistant professor in the Department of Electrical & Control Enginnering at Cheongju University since 2019. His current research interests include Control System, Motor Control System, Power Electronics.

E-mail: 21c8545@cju.ac.kr