๊น์ค์
(Jun-young Kim)
*iD
๋ฐ๊ธฐ์จ
(Gi-Ppeum Park)
*iD
์ฌ์ฑ๋ฏผ
(Sung-min Sim)
โ iD
๊น์ ๋ฌด
(Jung-Mu Kim)
โ iD
-
(Dept. of Electronic Engineering, Jeonbuk National University, Korea. E-mail : 202246625@jbnu.ac.kr,
202312330@jbnu.ac.kr)
Copyright ยฉ The Korean Institute of Electrical Engineers
Key Words
Contactless impedance measurement, Cylindrical electrode sensor, Lock-in Amplifier, Material classification, Free-falling objects
1. ์ ๋ก
๋น์ ์ด์์ผ๋ก ์์ง์ด๋ ์๋ฃ์ ๋ฌผ์ฑ์ ๊ฐ์ง ํ ์ด๋ฅผ ๋ฐํ์ผ๋ก ์๋ฃ๋ฅผ ์๋ณํ๋ ๊ธฐ์ ์ ์ฌ๋ฃ ๋ถ๋ฅ, ํ์ง ๊ด๋ฆฌ ๋ฑ ์ฌ๋ฌ ์ฐ์
๋ถ์ผ์ ํต์ฌ์ผ๋ก ์๋ฆฌ ์ก๊ณ
์๋ค. ํนํ, ์ปจ๋ฒ ์ด์ด ๋ฒจํธ ์์คํ
๊ณผ ๊ฐ์ ์ฐ์์ ์ธ ๊ณต์ ๋ผ์ธ์์๋ ์ ํ์ ๊ฒฐํจ์ ์ค์๊ฐ์ผ๋ก ํ๋ณํ๋ ๊ฒ์ด ์ค์ํ๋ค. ์ด๋ฅผ ์ํด ์ ์๊ธฐ์ ํน์ฑ์ ์ด์ฉํ
๋นํ๊ดด ๊ฒ์ฌ ๊ธฐ์ ์ด ์ฌ์ฉ๋๋ค[1]. ํนํ, ๋น์ ์ด์ ๋ถ์ผ์์ ์ฌ์ฉ๋๋ ํ๋ฉดํ ์ ๊ทน์ ์ ์์ด ์ฝ๊ณ ์ํํ์ ์ ๋ฆฌํ๊ธฐ ๋๋ฌธ์ ๋๋ฆฌ ์์ฉ๋๋ค. ๊ทธ๋ฌ๋ ํ๋ฉดํ ์ ๊ทน ๊ตฌ์กฐ๋ ๊ฐ์ฅ์๋ฆฌ์ ๋๊ฒ
ํผ์ง๋ Fringing effect๊ฐ ๋ฐ์ํ๊ธฐ ๋๋ฌธ์ ์ฃผ๋ณ ํ๊ฒฝ ๋ณํ์ ๋ฏผ๊ฐํ๊ณ ์ ๊ทน์์ ๋ฉ์ด์ง์๋ก ์ ๊ธฐ์ฅ์ ์ธ๊ธฐ๊ฐ ๊ธ๊ฒฉํ ์์์ง๊ธฐ ๋๋ฌธ์ ๋ฏธ์ธ ๋ฌผ์ง
์ธก์ ์ ํ๊ณ๊ฐ ์๋ค[2], [3]. ๊ฒฐ๊ณผ์ ์ผ๋ก ์ ๊ทน ํ๋ฉด์์ ์ธก์ ๋์๊ณผ์ ๊ฑฐ๋ฆฌ๊ฐ ๋ณํ ๊ฒฝ์ฐ ์ธก์ ์ค์ฐจ๊ฐ ๋ฐ์ํ์ฌ, ๋ฏธ์ธํ ์ ํธ๋ฅผ ๊ฐ์งํด์ผ ํ๋ ์ ๋ฐ ๊ณ์ธก ์์คํ
์ ์ฉ์ด ์ ํ์ ์ด๋ค.
์ด๋ฌํ ํ๋ฉดํ ์ ๊ทน ์ผ์์ ๋จ์ ์ ๊ทน๋ณตํ๊ธฐ ์ํด, ๋ณธ ์ฐ๊ตฌ์์๋ ๊ฐ ์ ๊ทน์ ํํ์ผ๋ก ์ฐ๊ฒฐํ ์ํตํ ์ ๊ทน ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ์ ์ํ๋ค. ์ด ๊ตฌ์กฐ๋ ์ ๊ทน์ด ์ฑ๋์
๋๋ ๋ฅผ ๊ฐ์ธ๊ณ ์์ด ์ ๊ธฐ์ฅ์ด 360๋ ์ ๋ฐฉํฅ์์ ๊ท ์ผํ๊ฒ ์๋ํ๋ค[4]. ๋ฐ๋ผ์ ํ๋ฉดํ ๊ตฌ์กฐ์ ๋จ์ ์ธ ์์น ๋ณํ์ ๋ฐ๋ฅธ ์ค์ฐจ๋ฅผ ์ต์ํ ์ํฌ ์ ์๋ค[5]. ํ์ง๋ง ์ผ๋ฐ์ ์ธ ์ ์ ์ธก์ ๋ฐฉ์์ผ๋ก๋ ์ ํจ ์ ํธ์ธ์ง ๋
ธ์ด์ฆ ์ ํธ์ธ์ง ๊ตฌ๋ถํ๊ธฐ ์ด๋ ต๋ค. ์ด๋ฅผ ํด๊ฒฐํ๊ธฐ ์ํด ๋ณธ ์ฐ๊ตฌ์์๋ Lock-in Amplifier
(LIA)๋ฅผ ์ด์ฉํ์ฌ ์ด๋ํ๋ ์๋ฃ๋ฅผ ์๋ณํ๋ ์์คํ
์ ๊ตฌ์ถํ์๋ค. LIA๋ Demodulation ๋ฐฉ์์ ์ด์ฉํ๊ธฐ ๋๋ฌธ์ ๋
ธ์ด์ฆ ํ๊ฒฝ ์์์๋ ๋ฏธ์ธํ
์ํผ๋์ค ๋ณํ๋ฅผ ๊ฐ์งํ์ฌ ์ ํจ ์ ํธ๋ฅผ ๊ฒ์ถํ ์ ์๋ค[6]. ๋ณธ ๋
ผ๋ฌธ์์๋ ๊ธฐ์กด ์ฐ๊ตฌ[7]๋ฅผ ํ์ฅํ์ฌ, ์ ์๋ ์ํตํ ์ ๊ทน ์ผ์์ LIA๋ฅผ ์ด์ฉํด ์ ๋์ฒด(์ฒ )์ ์ ์ ์ฒด(์ ๋ฆฌ ๋ฐ ๊ณ ๋ฌด)๊ฐ ์ผ์ ๋ด๋ถ๋ฅผ ํต๊ณผํ ๋ ๋ฐ์ํ๋ ์ํผ๋์ค ๋ณํ๋ฅผ ๋น์ ์ด์
๋ฐฉ์์ผ๋ก ์ธก์ ํ์๋ค. ๋งค์ง๋ณ ํน์ฑ ๋ถ์๋ฟ๋ง ์๋๋ผ ์ง๊ฒฝ 16 mm, 21 mm, 26 mm, 30 mm์ ๊ฐ๊ธฐ ๋ค๋ฅธ ์๋ฃ์ ํฌ๊ธฐ ๋ณํ๊ฐ ์ํผ๋์ค ์ ํธ์
๋ฏธ์น๋ ์ํฅ์ ์ถ๊ฐ๋ก ๋ถ์ํ์๋ค. ์ด๋ฅผ ํตํด ์ผ์ ๋ด๋ถ๋ฅผ ํต๊ณผํ๋ ๊ฐ ์๋ฃ์ ๊ณ ์ ํ ์ ์๊ธฐ์ ํน์ฑ๊ณผ ํฌ๊ธฐ ์ ๋ณด๊ฐ ์ ํธ์ ์งํญ๊ณผ ์์์ ๋ฏธ์น๋ ์๊ด๊ด๊ณ๋ฅผ
๊ท๋ช
ํ๊ณ , ์์ง์ด๋ ์๋ฃ์ ๋งค์ง๊ณผ ํฌ๊ธฐ๋ฅผ ํจ๊ณผ์ ์ผ๋ก ๋ถ๋ฅํ ์ ์์์ ๊ฒ์ฆํ์๋ค.
2. ์ ๊ทน ๊ตฌ์กฐ์ ๋ฐ๋ฅธ ์ ๊ธฐ์ฅ ๋ถํฌ ํน์ฑ ๋น๊ต
๊ทธ๋ฆผ 1์ ์ผ๋ฐ์ ์ผ๋ก ๋น์ ์ด ์ํผ๋์ค ์ธก์ ์ ์ฌ์ฉ๋๋ ํ๋ฉดํ ์ ๊ทน์ ๋ชจ์๋์ด๋ค. ํ๋ฉดํ ์ ๊ทน์ ์ ์์ด ์ฝ๊ณ ์ํํ์ ์ ๋ฆฌํ์ฌ ๋๋ฆฌ ์ฌ์ฉ๋๋ค. ํ์ง๋ง ํ๋ฉดํ
์ ๊ทน ๊ตฌ์กฐ๋ ์ ์ ๊ทน ์ฌ์ด์ ์ ๊ธฐ์ฅ์ด ๋ฐ์ ํํ๋ก ํผ์ ธ๋๊ฐ๋ Fringing effect๊ฐ ๋ฐ์ํ๊ธฐ ๋๋ฌธ์ ์ฃผ๋ณ ํ๊ฒฝ์ ๋ฏผ๊ฐํ๊ณ ์ ๊ทน์์ ๋ฉ์ด์ง์๋ก
์ ๊ธฐ์ฅ์ ์ธ๊ธฐ๊ฐ ๊ธ๊ฒฉํ ์์์ง๊ธฐ ๋๋ฌธ์ ๋ฏธ์ธ ๋ฌผ์ง ์ธก์ ์ ํ๊ณ๊ฐ ์๋ค. ๋ฐ๋ผ์ ์ธก์ ์๋ฃ๊ฐ ์ ๊ทน ํ๋ฉด์ ๋ฐ์ฐฉ๋์ง ์๊ฑฐ๋ ์์น๊ฐ ์ ๋์ ์ผ ๊ฒฝ์ฐ, ์ธก์
๊ฐ๋๊ฐ ๋ถ๊ท ์ผํด์ง๋ฉฐ ์ธก์ ์ค์ฐจ๋ฅผ ์ ๋ฐํ๋ค[3].
๊ทธ๋ฆผ 1. ํ๋ฉดํ ์ ๊ทน์ ๋ชจ์๋
Fig. 1. Schematic of Co-Planar Electrode
๊ทธ๋ฆผ 2๋ ํ๋ฉดํ ์ ๊ทน์ ๋ํ COMSOL(COMSOL Multiphysics 6.0, COMSOL AB, Stockholm, Sweden) ์๋ฎฌ๋ ์ด์
์
ํตํด ์๊ฐ์ ์ผ๋ก ๊ฒ์ฆํ ๊ฒฐ๊ณผ์ด๋ค. ํด์ ๊ฒฐ๊ณผ๋ฅผ ์ดํด๋ณด๋ฉด, ํ๋ฉดํ ์ ๊ทน์ด ์ฑ๋์ ๋ฐ๋ฅ๋ฉด์๋ง ์์นํ๊ธฐ ๋๋ฌธ์ ๋ถ๊ท ์ผํ ์ ๊ธฐ์ฅ ๋ถํฌ ๋ฐ ๋น๋์นญ์ฑ์ ๊ฐ๋๋ค.
์ด๋ฌํ ๋น๋์นญ์ ๊ตฌ์กฐ๋ ์ฑ๋์ ๋์ด ๋ฐฉํฅ์ผ๋ก ๊ฐ์๋ก ์ ๊ธฐ์ฅ ๋ฐ๋๋ฅผ ์ ํ์ํจ๋ค. ์ฆ, ์๋ฃ๊ฐ ์ ๊ทน์ ์ง๋๊ฐ ๋, ๋ฐ๋ฅ๋ฉด์์ ๊ฐ๊น์ด ๊ณณ๊ณผ ๋จผ ๊ณณ์ ์ง๋
๋ ์ธก์ ๊ฒฐ๊ด๊ฐ์ด ๋ฌ๋ผ์ง๋ฏ๋ก ์์น ์์กด์ฑ ๋ฌธ์ ๋ฅผ ์ผ๊ธฐํ๋ค. ์ด๋ฌํ ๋ฌธ์ ๋ฅผ ์๋ฎฌ๋ ์ด์
์์ ๋ช
ํํ ํ์ธ๋๋ค.
๊ทธ๋ฆผ 2. ํ๋ฉดํ ์ ๊ทน ์ผ์์ ๋จ๋ฉด์ ๋ํ ์ ๊ธฐ์ฅ์ ์ธ๊ธฐ
Fig. 2. Electric Field Magnitude for the Cross-section of the Co-Planar Electrode
Sensor
๋ฐ๋ผ์ ์ด๋ฌํ ๋ฌธ์ ๋ฅผ ์ค์ด๊ธฐ ์ํด ๊ทธ๋ฆผ 3๊ณผ ๊ฐ์ ๊ฐ ์ ๊ทน์ ํํ์ผ๋ก ์ฐ๊ฒฐํ ์ํตํ ์ ๊ทน ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ์ ์ํ์๋ค. ๊ทธ๋ฆผ 3 ์ค์์ ์์นํ ์๋ฃ๋ Bead์ด๋ฉฐ, ๊ธฐํ์ ์ํฌ๋ฆด ํ์ดํ๋ก ๊ตฌ์ฑ๋๋ค. ์ด ๊ตฌ์กฐ๋ ๋์นญ์ฑ์ ๊ฐ์ง๊ธฐ ๋๋ฌธ์, ๋ฐ๋ฅ์์๋ง ์ ๊ธฐ์ฅ์ด ํ์ฑ๋๋ ํ๋ฉดํ ์ ๊ทน๊ณผ
๋ฌ๋ฆฌ ์ฑ๋์ ๋ชจ๋ ๋ฐฉํฅ์์ ์ ๊ธฐ์ฅ์ด ํ์ฑ๋๋ค.
๊ทธ๋ฆผ 3. ์ํตํ ์ ๊ทน์ ๋ชจ์๋
Fig. 3. Schematic of Cylindrical Electrode
๊ทธ๋ฆผ 4๋ ๊ทธ๋ฆผ 3์ ์ํตํ ์ ๊ทน ์ผ์๋ฅผ ์ค์ฌ์ถ์ผ๋ก ์ ๋จํ ์ข
๋จ๋ฉด์ ๋ํ COMSOL ์๋ฎฌ๋ ์ด์
๊ฒฐ๊ณผ์ด๋ค. ๋จ๋ฉด๋ ์์์ ์ํ๋ก ๋ถ๋ฆฌ๋์ด ๋ฐฐ์น๋ ๊ฒ์ฒ๋ผ ๋ณด์ด๋ ์ ๊ทน๋ค์,
์ค์ ์ฑ๋์ ๊ฐ์ธ๊ณ ์๋ ํํ ๊ตฌ์กฐ์ ์ ๊ทน ๋จ๋ฉด์ด๋ค. ํด์ ๊ฒฐ๊ณผ๋ฅผ ์ดํด๋ณด๋ฉด, ์ํตํ ์ ๊ทน์ ํ๋ฉดํ ์ ๊ทน๊ณผ ๋ฌ๋ฆฌ ์ ๊ทน์ด ์ฑ๋์ ๋๋ ๋ฅผ ๊ฐ์ธ๊ณ ์์ด ๋์นญ์ ์ผ๋ก
ํ์ฑ๋จ์ ํ์ธํ ์ ์๋ค. ๊ทธ๋ฌ๋ฏ๋ก ์ฑ๋์ ์ ๊ธฐ์ฅ์ด 360๋ ์ ๋ฐฉํฅ์์ ๊ท ์ผํ๊ฒ ์๋ํ๋ค. ์ด๋ ์๋ฃ๊ฐ ์ ๊ทน์ ์ง๋๊ฐ ๋, ์ฑ๋์ ์ค์ฌ์ถ์์ ๋ค์
๋ฒ์ด๋๋๋ผ๋ ํ๋ฉดํ ์ ๊ทน ๋๋น ์์ ์ ์ธ ์ํผ๋์ค ๋ณํ๋์ ํ๋ณดํ ์ ์์์ ์๋ฏธํ๋ค.
๊ทธ๋ฆผ 4. ์ํตํ ์ ๊ทน ์ผ์์ ๋จ๋ฉด์ ๋ํ ์ ๊ธฐ์ฅ์ ์ธ๊ธฐ
Fig. 4. Electric Field Magnitude for the Cross-section of the Cylindrical Electrode
Sensor
์ค์ ํ๊ฒฝ์์๋ ์๋ฃ๊ฐ ํญ์ ์ ๊ทน์ ์ ํํ ์ค์์ ํต๊ณผํ๋ค๊ณ ๋ณด์ฅํ๊ธฐ ์ด๋ ต๋ค. ์ด์ ๋ฐ๋ผ ๋ณธ ์ฐ๊ตฌ์์๋ ์๋ฃ์ ์์น ํธ์ฐจ์ ๋ํด ์์ ์ ์ธ ์ ๊ทน ์ํผ๋์ค
๋ณํ๋($\Delta Z = |Z_A| - |Z_B|$)์ ๊ฐ๋์ง ๊ฒ์ฆํ๊ธฐ ์ํด COMSOL ์๋ฎฌ๋ ์ด์
์ ์ํํ์๋ค. ์ฌ๊ธฐ์ $Z_A$์ $Z_B$๋
๊ฐ๊ฐ์ ๊ฐ์ง ์ ๊ทน A์ B์์ ์ธก์ ๋ ๋ณต์ ์ํผ๋์ค๋ฅผ ์๋ฏธํ๋ค. ์ ๊ทน ๋ด๋ถ๋ก ์๋ฃ๊ฐ ์ง์
ํ๋ฉด ์๋ฃ ๊ณ ์ ์ ๋ฌผ์ง์ ํน์ฑ์ ์ํด ์ ๊ทน ์ฃผ๋ณ์ ์ ๊ธฐ์ฅ ๋ถํฌ๊ฐ
๊ต๋๋๋ฉฐ, ์ด๋ ๊ฐ ์ ๊ทน์ ์ํผ๋์ค ํฌ๊ธฐ ๋ณํ๋ก ๋ํ๋๋ค. ๋ฐ๋ผ์ $\Delta Z = |Z_A| - |Z_B|$ ๊ฐ์ ๋ถ์ํ๋ฉด ์๋ฃ๊ฐ ์ค์ฌ์ถ์์
๋ฒ์ด๋ ๊ฒฝ๋ก๋ฅผ ํต๊ณผํ๋๋ผ๋ ๋ณธ ์ผ์๊ฐ ์ผ๋ง๋ ๊ท ์ผํ ๊ฐ์ง ์ฑ๋ฅ์ ์ ์งํ๋์ง ํ๊ฐํ ์ ์๋ค.
๊ทธ๋ฆผ 5(a)๋ ๊ฐ์ง ์ ๊ทน์ด ์์นํ 280 mm ์ง์ ์ 21 mm์ ๊ตฌ๋ฆฌ Bead๊ฐ ํต๊ณผํ๋ ์๊ฐ์ COMSOL ์๋ฎฌ๋ ์ด์
๊ฒฐ๊ณผ์ด๋ค. ์ด๋ ์๋ฃ๊ฐ ์ผ์์ ์ ์ค์์
ํต๊ณผํ ๋์ ๊ฐ๊ฐ 5 mm, 10 mm ๋ฒ์ด๋ ๊ฒฝ๋ก๋ก ๋ํํ๋ ์ํฉ์ ๊ฐ์ ํ์ฌ ์ ๊ธฐ์ฅ ๋ถํฌ๋ฅผ ๋น๊ตํ ๊ฒ์ด๋ค. ๊ฒฐ๊ณผ๋ฅผ ์ดํด๋ณด๋ฉด, ์๋ฃ๊ฐ ์ ์ค์์ ํต๊ณผํ
๋์ ์ค์ฌ์์ 5 mm, 10 mm ๋ฒ์ด๋ ๊ฒฝ๋ก๋ฅผ ํต๊ณผํ ๋ ๋ชจ๋ ์๋ฃ ์ฃผ๋ณ์ ์ง์ค๋๋ ์ ๊ธฐ์ฅ ์ธ๊ธฐ๊ฐ ์ฝ 25-35 V/m ์์ค์ผ๋ก ๋งค์ฐ ์ ์ฌํ๊ฒ
๋ํ๋๋ ๊ฒ์ ํ์ธํ ์ ์๋ค. ์ด๋ ์ํตํ ์ ๊ทน ํน์ฑ์ 360๋ ์ ๋ฐฉํฅ์์ ์ ๊ธฐ์ฅ์ด ํ์ฑ๋๋ฏ๋ก ์์น ํธ์ฐจ๊ฐ ๋ฐ์ํด๋ ์์ ์ ์ธ ์ธก์ ์ด ๊ฐ๋ฅํจ์ ํ์ธํ
์ ์๋ค ๊ทธ๋ฆผ 5(b)๋ ์๋ฃ๊ฐ ์ผ์์ ์ค์์ ํต๊ณผํ ๋์, ์ค์ฌ์ถ์ผ๋ก๋ถํฐ ๊ฐ๊ฐ 5 mm, 10 mm ๋ฒ์ด๋ ๊ฒฝ๋ก๋ก ํต๊ณผํ ๋ ๋ฐ์ํ๋ ์ ๊ทน ์ํผ๋์ค ๋ณํ๋์ ๋ํ๋ธ ๊ฒฐ๊ณผ์ด๋ค.
์๋ฃ๊ฐ ์ค์ฌ์ผ๋ก๋ถํฐ 10 mm๊น์ง ๋ฒ์ด๋ ๊ฒฝ๋ก์์ ๋ํํ๋๋ผ๋ ์ค์์ ํต๊ณผํ ๋์ ์ํผ๋์ค ๋ณํ ํํ ๋ฐ ์ต๋/์ต์๊ฐ์ ๋งค์ฐ ์ ์ฌํ ์์์ ๋ํ๋๋ค.
๊ฒฐ๊ณผ์ ์ผ๋ก ์ ์๋ ์ํตํ ์ ๊ทน ๊ตฌ์กฐ๋ ๋ณ๋์ ์ ๋ ฌ ์ฅ์น๊ฐ ์์ด๋ ์๋ฃ์ ์์น ํธ์ฐจ์ ๋ฐ๋ฅธ ์ค์ฐจ๋ฅผ ์ต์ํํ ์ ์์ผ๋ฉฐ, ์ค์ ์ฐ์
ํ๊ฒฝ์์๋ ๋์ ์ฌํ์ฑ๊ณผ
์ ๋ขฐ์ฑ์ ์ ๊ณตํ ์ ์์์ ์
์ฆํ๋ค.
๊ทธ๋ฆผ 5. ์๋ฃ์ ์์น ํธ์ฐจ์ ๋ฐ๋ฅธ ์๋ฎฌ๋ ์ด์
๊ฒฐ๊ณผ ์์นํธ์ฐจ๋ณ ์ ๊ธฐ์ฅ ๋ถํฌ; (a) ์์น ํธ์ฐจ(์ค์, 5 mm, 10 mm)๋ณ ์ ๊ธฐ์ฅ ๋ถํฌ, (b)
์์น ํธ์ฐจ๋ณ ์ํผ๋์ค ๋ณํ๋ ๊ทธ๋ํ
Fig. 5. Simulation results according to the positional deviation of the object; (a)
Electric field distributions at the center, 5 mm offset, and 10 mm offset paths, (b)
Impedance variation graph by positional deviation
3. ์์คํ
๊ตฌ์ฑ
3.1 ๋ชจ์๋ & ์ํตํ ์ ๊ทน ์ผ์
๊ทธ๋ฆผ 6๋ ์ ์ฒด ์์คํ
์ ๋ชจ์๋๋ฅผ ๋ณด์ฌ์ค๋ค. ๊ธธ์ด 50 cm์ PVC ์ํต ํ๋ฉด์ ์ ๋์ฑ ๊ตฌ๋ฆฌ ํ
์ดํ๋ฅผ ์ด์ฉํ์ฌ Excitation Electrode (์ฌ๊ธฐ
์ ๊ทน) 1๊ฐ์ ์๋จ์ Sensing Electrodes (๊ฐ์ง ์ ๊ทน) 2๊ฐ๋ฅผ 5 cm ๊ฐ๊ฒฉ์ผ๋ก ๋ฐฐ์นํ์๋ค. LIA(MFLI, Zurich Instruments,
Zurich, Switzerland)๋ก๋ถํฐ 100 kHz, 5 Vpp ์ ํํ๋ฅผ ์ฌ๊ธฐ ์ ๊ทน์ ์ธ๊ฐํ์ฌ 2๊ฐ์ ๊ฐ์ง ์ ๊ทน๊ณผ ํจ๊ป ์๋ณ ์ ์๊ธฐ์ฅ์ ํ์ฑํ์๋ค.
๋ ๊ฐ์ง ์ ๊ทน์์ ๊ฒ์ถ๋ ์ ํธ๋ ๊ทธ๋ฆผ 6์ Transimpedance Amplifier (TIA) ํ๋ก๋ฅผ ํตํด ์ ๋ฅ-์ ์ ๋ณํ๋ ํ, LIA์ ์ฐจ๋ ์
๋ ฅ๋จ์ผ๋ก ์
๋ ฅ๋์ด ์๋ฃ ํต๊ณผ ์ ๋ฐ์ํ๋
์ํผ๋์ค ๋ณํ๋ฅผ ์ธก์ ํ์๋ค.
๊ทธ๋ฆผ 6. ์ํตํ ์ ๊ทน์ ์ด์ฉํ ์ํผ๋์ค ๋ณํ ๊ฐ์ง ๋ชจ์๋
Fig. 6. Schematic Diagram of the Impedance Sensing Using Cylindrical Electrodes
๊ทธ๋ฆผ 7์ ์ํตํ ์ ๊ทน ์ผ์์์ ์๋ฃ๊ฐ ์ง๋๊ฐ ๋์ ์ ํธ ๊ฒ์ถ ์๋ฆฌ๋ฅผ ๋ณด์ฌ์ค๋ค. ๊ฐ์ง ์ ๊ทน A ์ B์์ ๊ฒ์ถ๋ ์ ๋ฅ ์ ํธ๋ ๋จผ์ TIA๋ฅผ ๊ฑฐ์ณ ์ ์ ์ ํธ
$V_A$์ $V_B$๋ก ๊ฐ๊ฐ ๋ณํ๋๋ค. ์ดํ ๋ ์ ํธ๋ ๊ฐ๊ฐ ์ฐจ๋์ฆํญ๊ธฐ์ ๋น๋ฐ์ ๋จ์, ๋ฐ์ ๋จ์๋ก ์
๋ ฅ๋์ด, ๋ ์ ํธ์ ์ฐจ์ด์ ํด๋นํ๋ $V_{out}
= V_A - V_B$์ ๊ฐ์ ์ถ๋ ฅํ๋ค. ์๋ฃ์ธ Bead๊ฐ ๊ฐ์ง ์ ๊ทน A๋ฅผ ํต๊ณผํ ๋๋ $V_A$์ ๋ณํ๊ฐ ์ฐ์ธํ๊ณ , ๋น๋ฐ์ ๋จ์์ ์ฐ๊ฒฐ๋์๊ธฐ ๋๋ฌธ์
์์ ํผํฌ๊ฐ ๋ฐ์ํ๊ฒ ๋๋ค. ์ด์ด ๊ฐ์ง ์ ๊ทน B๋ฅผ ํต๊ณผํ ๋๋ ๋ฐ์ ๋จ์์ ์ฐ๊ฒฐ๋์๊ธฐ ๋๋ฌธ์ $V_B$์ ๋ณํ๊ฐ ๋ฐ์ ๋์ด ์์ ํผํฌ ๊ฐ์ด ๋ํ๋๊ฒ
๋๋ค. ๊ฒฐ๊ณผ์ ์ผ๋ก ๊ทธ๋ฆผ 7 ํ๋จ์ ๊ทธ๋ํ์ ๊ฐ์ ํํ์ด ๊ฒ์ถ๋๋ค.
๊ทธ๋ฆผ 7. ์ํตํ ์ ๊ทน ์ผ์
Fig. 7. Cylindrical Electrode Sensor
3.2 Transimpedance Amplifier (TIA)
๊ทธ๋ฆผ 8์ ์์คํ
์ ๊ฐ์ฅ ์๋จ์์ ์ ํธ๋ฅผ ๊ฐ์งํ๋ TIA ํ๋ก์ด๋ค. ์ผ์์์ ๋ฐ์ํ๋ ์ ํธ๋ ๋ฏธ์ธํ ์ ๋ฅ ํํ์ด๊ธฐ ๋๋ฌธ์, ์ด๋ฅผ ์ฒ๋ฆฌ ๊ฐ๋ฅํ ์ ์ ์ ํธ๋ก
๋ณํํ๊ณ ์ฆํญํ๋ ๊ณผ์ ์ด ํ์์ ์ด๋ค. ์ด๋ ํ๋ก์ ์์ ์ฑ์ ํ๋ณดํ๊ณ ๊ณ ์ฃผํ ๋
ธ์ด์ฆ๋ฅผ ์ ํํ๊ธฐ ์ํด ํผ๋๋ฐฑ ์ ํญ($R_f$)๊ณผ ๋ณ๋ ฌ๋ก ํผ๋๋ฐฑ ์ปคํจ์ํฐ($C_f$)๋ฅผ
์ฐ๊ฒฐํ์๋ค. ์ ์ฒด ํผ๋๋ฐฑ ์ํผ๋์ค($Z_f$)๋ ๋ค์๊ณผ ๊ฐ์ด ์ ๋๋๋ค.
ํ๋ก ํด์์ ์ํด ์ปคํจ์ํฐ $C_f$๋ฅผ ์ํผ๋์ค ํํ($\frac{1}{j\omega C_f}$)๋ก ๋ณํํ์ฌ ๋ณ๋ ฌ ํฉ์ฑ ์ํผ๋์ค ๊ณต์์ ์ ์ฉํ๋ฉด,
์ ์ฒด ํผ๋๋ฐฑ ์ํผ๋์ค $Z_f$๋ ์๋์ ๊ฐ์ด ์ ๋๋๋ค.
์ด์์ ์ธ ์ฐ์ฐ ์ฆํญ๊ธฐ์ ๊ฐ์ ์ ์ง ์๋ฆฌ์ ๋ฐ๋ผ ์
๋ ฅ ์ ๋ฅ($I_{in}$)๋ ๋ชจ๋ ํผ๋๋ฐฑ ์ํผ๋์ค๋ก ํ๋ฅด๊ฒ ๋๋ค. ๋ฐ๋ผ์ ์
์ถ๋ ฅ ์ ์ ๊ด๊ณ์์ ์ด์
๋ฒ์น์ ๋ฐ๋ผ ๋ค์๊ณผ ๊ฐ์ด ์ ์๋๋ค.
์ฌ๊ธฐ์ ์์ ์ ๋ํ $Z_f$๋ฅผ ๋์
ํ๋ฉด, ํผ๋๋ฐฑ ์ปคํจ์ํฐ๊ฐ ํฌํจ๋ TIA์ ์ต์ข
์ ๋ฌ ํจ์๋ ๋ค์๊ณผ ๊ฐ๋ค.
์ (2)์์ ์ ์ ์๋ฏ์ด, ์ฃผํ์($\omega$)๊ฐ ์ฆ๊ฐํ ์๋ก ๋ถ๋ชจ์ ํฌ๊ธฐ๊ฐ ์ปค์ ธ ์ ์ฒด ์ ์ ์ด๋์ด ๊ฐ์ํ๊ฒ ๋๋ค. ์ด๋ฌํ ๊ณ ์ฃผํ ์ ํธ ๊ฐ์ ํน์ฑ์ ๋ฐ๋ผ
ํ๋ก๋ ์ ์ญ ํต๊ณผ ํํฐ๋ก ๋์ํ๋ฉฐ, ์ด๋ ์ด๋์ด ์ต๋์น ๋๋น โ3 dB๋ก ๊ฐ์ํ๋ ์ฐจ๋จ ์ฃผํ์($f_c$)๋ ์ (5)๊ณผ ๊ฐ์ด ์ ์๋๋ค.
๊ทธ๋ฆผ 8. TIA ๋ชจ์๋
Fig. 8. Schematic of TIA
๋ณธ ์ฐ๊ตฌ์์๋ 100 k$\Omega$์ ํผ๋๋ฐฑ ์ ํญ๊ณผ 4.7 pF ์ ์ปคํจ์ํฐ๋ฅผ ๋ณ๋ ฌ๋ก ์ฐ๊ฒฐํ์ฌ TIA๋ฅผ ์ค๊ณํ์๋ค. ์ (5)์ ์ํ ์ด๋ก ์ ์ฐจ๋จ ์ฃผํ์๋ ์ฝ 336 kHz์ด๋, ์ค์ค๋ก์ค์ฝํ๋ฅผ ์ด์ฉํ ์ค์ ์ธก์ ๊ฒฐ๊ณผ ์ฐจ๋จ ์ฃผํ์๋ ์ฝ 250 kHz๋ก ๋ํ๋ฌ๋ค. ์ด๋ ๊ธฐ์
์ปคํจ์ํด์ค ๋ฐ ์์ ์ค์ฐจ์ ๊ธฐ์ธํ ๊ฒ์ผ๋ก ํ๋จ๋๋ค[8]. ๋ฐ๋ผ์ ๋ณธ ์คํ์์๋ ์ ํธ์ ์๊ณก ์์ด ์ด๋์ด ์ผ์ ํ Flat band๊ตฌ๊ฐ์ธ 100 kHz๋ก ์ค์ ํ์๋ค. ๊ทธ๋ฆผ 9์ ์ค๊ณ๋ TIA ํ๋ก์ ์ค์ ์ฃผํ์ ์๋ต ํน์ฑ์ ์ธก์ ํ ๊ฒฐ๊ณผ์ด๋ค. ๊ทธ๋ฆผ 9(a)์ ์ธก์ ๋ฐ์ดํฐ๋ฅผ ์ดํด๋ณด๋ฉด, ์ ์ ๋ ๋์ ์ฃผํ์ 100 kHz์์ ์
๋ ฅ ์ ํธ 0.001 $V_{pp}$์ ๋ํด ์ถ๋ ฅ ์ ํธ๊ฐ 2 $V_{pp}$๋ก ์ธก์ ๋์๋ค.
์ด๋ ์
๋ ฅ ๋๋น ์ถ๋ ฅ ์ ํธ์ ๋น(Gain)๊ฐ ์ฝ 2000 V/V ์์ ์๋ฏธํ๋ฉฐ, ์ด๋ฅผ ๋ฐ์๋ฒจ๋ก ํ์ฐํ๋ฉด ์ฝ 66 dB์ ์ ์ ์ด๋์ ํด๋นํ๋ค. ์ด๋ฌํ
๊ฒฐ๊ณผ๋ ๊ทธ๋ฆผ 9(b)์ Bode Plot์์๋ ๋ช
ํํ ํ์ธ๋๋ค. ์ธก์ ๋ 66 dB์ ์ด๋์ 3 dB ์ง์ ์ด์ ์ Flat Band ๊ตฌ๊ฐ ๋ด์์ ํ์ฑ๋๋ ์ต๋ ์ด๋ ๊ฐ๊ณผ
์ผ์นํ๋ค. ๋ฐ๋ผ์ ์ค๊ณ๋ TIA๋ ๋ชฉํ ๋์ ์ฃผํ์์ธ 100 kHz ๋์ญ์์ ์ ํธ์ ์๊ณก์ด๋ ๊ฐ์ ์์ด ์์ ์ ์ด๊ณ ์ ํ์ ์ธ ์ฆํญ ์ฑ๋ฅ์ ์ ์งํจ์ ์
์ฆํ
์ ์๋ค.
๊ทธ๋ฆผ 9. ์ ์๋ TIA ํ๋ก์ ์ฃผํ์ ์๋ต ํน์ฑ ์ธก์ ๊ฒฐ๊ณผ
Fig. 9. Measured Frequency Response Characteristics of the Fabricated TIA
3.3 Lock-in Amplifier(LIA) ์๋ฆฌ
๋ณธ ์ฐ๊ตฌ์์๋ ๋ฏธ์ธํ ์ํผ๋์ค ๋ณํ๋ฅผ ์ ๋ฐํ๊ฒ ๊ฐ์งํ๊ธฐ ์ํด, ๊ทธ๋ฆผ 10๊ณผ ๊ฐ์ด LIA๋ฅผ ์ฌ์ฉํ์ฌ ์ ํธ๋ฅผ ์ธก์ ํ์๋ค. ์ด ์ฅ๋น์ ์ธก์ ์๋ฆฌ๋ ๋ค์์ 3๋จ๊ณ ๊ณผ์ ์ ํตํด ์ค๋ช
๋๋ค.
1) Differential Input
TIA๋ฅผ ๊ฑฐ์ณ ์ถ๋ ฅ๋ ์ ์ ์ ํธ($V_{out}$)๋ค์ LIA์ ์ฐจ๋ ์
๋ ฅ๋จ์ผ๋ก ์ ๋ฌ๋๋ค. ๋ณธ ์ฐ๊ตฌ์์ ๊ฐ์ง ์ ๊ทน์ ์ข์ฐ 2๊ฐ๋ก ๊ตฌ์ฑํ ์ด์ ๋ ์ข์ฐ
์ฑ๋์์ ์ป์ด์ง ์ ํธ๋ฅผ ๊ฐ๊ฐ TIA์์ ์ ์์ผ๋ก ๋ณํํ ํ, ์ด๋ฅผ LIA์ ์ฐจ๋ ์
๋ ฅ์ ์ธ๊ฐํ์ฌ ํ๋์ ์ฐจ๋ ์ถ๋ ฅ ์ ํธ๋ก ์ฒ๋ฆฌํ๊ธฐ ์ํจ์ด๋ค. ์ฆ,
2๊ฐ ์ ๊ทน์ ์ฐจ๋ ์ธก์ ์ ์ํ 2์ฑ๋ ์
๋ ฅ ๊ตฌ์ฑ์ ํ์ฑํ๋ฉฐ, ๊ทธ ๊ฒฐ๊ณผ ๊ณตํต ๋
ธ์ด์ฆ ์ต์ ํจ๊ณผ๋ฅผ ํจ๊ป ์ป์ ์ ์๋ค. ์ด๋ ์
๋ ฅ๋ ๋ ์ ํธ์ ์ฐจ์ด๊ฐ
์ฆํญ๋์ด ๊ณตํต ๋
ธ์ด์ฆ๊ฐ ์ ๊ฑฐ๋ ์ ํธ์ฑ๋ถ $V_{sig}(t)$๋ ๋ค์๊ณผ ๊ฐ์ด ์ ์๋๋ค.
์ฌ๊ธฐ์ $V_{in1}$์ $V_{in2}$๋ ์์ ๊ธฐ์ ํ TIA์ ์ถ๋ ฅ ์ ์($V_{out}$)์ด LIA์ ์
๋ ฅ ๋จ์์ ๊ฐ๊ฐ ์ธ๊ฐ๋ ๊ฒ์ ์๋ฏธํ๋ฉฐ,
G๋ ์ฐจ๋ ์ฆํญ๊ธฐ์ ์ ์ ์ด๋(Gain)์ ๋ํ๋ธ๋ค. ๋ํ A๋ ์ฐจ๋ ์ฆํญ๋ ์ ํธ์ ์งํญ์ ์๋ฏธํ๋ฉฐ, ์ด๋ ํด๋น ์ ํธ์ ํผํฌ-ํฌ-ํผํฌ ์ ์์ ์ ๋ฐ์ธ($V_{pp}/2$)์
ํด๋นํ๋ค. $\phi$๋ ์ํผ๋์ค ๋ณํ์ ๋ฐ๋ฅธ ์์ ์ง์ฐ์ ๋ํ๋ธ๋ค. ์ฐจ๋ ์
๋ ฅ ๋ฐฉ์์ ๋ ์
๋ ฅ์ ์ฐจ์ด๋ฅผ ์ฆํญํ๋ฏ๋ก, ๋ ๋จ์์ ๊ณตํต ๋
ธ์ด์ฆ๋ฅผ ํจ๊ณผ์ ์ผ๋ก
์ ๊ฑฐํ ์ ์๋ค[9].
2) Dual-Phase Demodulation
์
๋ ฅ ์ ํธ์ ์งํญ๊ณผ ์์์ ๋ถ๋ฆฌํด ๋ด๊ธฐ ์ํด, ์ฅ๋น ๋ด๋ถ์์ ๊ธฐ์ค ์ ํธ์ธ $\sin$๊ณผ 90๋ ์์ ์ฒ์ด๋ $\cos$์ผ๋ก ๋๋์ด ๊ฐ๊ฐ Mixing
ํ๋ค.
2-1) X ์ฑ๋ถ (In-Phase) ์ถ์ถ
์
๋ ฅ ์ ํธ์ ๊ธฐ์ค ์ ํธ $\sin(\omega t)$๋ฅผ ๊ณฑํ๋ฉด, ์ผ๊ฐํจ์์ ๊ณฑ์ ํฉ๊ณผ ์ฐจ๋ก ๋ณํํ๋ ๊ณต์์ ์ํด ๋ค์๊ณผ ๊ฐ์ด ์ ๊ฐ๋๋ค.
์ (7)์ ์ ํธ๋ฅผ ์ ์ญ ํต๊ณผ ํํฐ(Low Pass Filter)์ ํต๊ณผ์์ผ $2\omega$์ ๊ณ ์ฃผํ ์ฑ๋ถ์ ์ ๊ฑฐํ๋ฉด, DC ์ ์์ธ X ์ฑ๋ถ๋ง ๋จ๊ฒ ๋๋ค.
2-2) Y ์ฑ๋ถ (Quadrature) ์ถ์ถ
๋ง์ฐฌ๊ฐ์ง๋ก ์
๋ ฅ ์ ํธ์ $\cos(\omega t)$๋ฅผ ๊ณฑํ๋ฉด ๋ค์๊ณผ ๊ฐ์ด ์ ๊ฐ๋๋ค.
๋์ผํ๊ฒ LPF๋ฅผ ํตํด ๊ณ ์ฃผํ ์ฑ๋ถ์ ์ ๊ฑฐํ๋ฉด, DC ์ ์์ธ Y ์ฑ๋ถ์ ๋ค์๊ณผ ๊ฐ๋ค.
3) ๋ฐ์ดํฐ ์ฐ์ถ
์ถ์ถ๋ DC ์ฑ๋ถ X์ Y๋ฅผ ์ด์ฉํ์ฌ, ์ต์ข
์ ์ผ๋ก ์ ๊ทน ์ํผ๋์ค์ ๋ฐ๋ผ ๋ณํ๋ ์ ์ ์ ํธ์ ์งํญ(R)๊ณผ ์์($\theta$)์ ์ถ์ถํ๋ค[10].
๊ทธ๋ฆผ 10. LIA์ ๋ธ๋ก ๋ค์ด์ด๊ทธ๋จ
Fig. 10. Block Diagram of Lock-in Amplifier
4. ์ธก์ ์๋ฆฌ
๊ทธ๋ฆผ 11์ ์ ๊ทน ์์ ์๋ฃ๊ฐ ์์ ๋, ์๋ฃ๊ฐ ์ ๊ทน ์๋ฅผ ํต๊ณผํ ๋ ๋ฐ์ํ๋ ์ํผ๋์ค ๋ณํ๋ฅผ ๋ฐํ์ผ๋ก ์๋ฃ๋ฅผ ๊ฒ์ถํ๋ ์๋ฆฌ๋ฅผ ๋ํ๋ธ๋ค. ๋ณธ ์์คํ
์ ๋ ์ ๊ทน
์ฌ์ด์ ์ ์ ์ฐจ์ด๋ฅผ ์ธก์ ํ๋ ๋ฐฉ์์ ์ฌ์ฉํ๋ฉฐ, ์ธ๋ถ ๋์ ์๋ฆฌ๋ ๋ค์๊ณผ ๊ฐ๋ค.
1) ์๋ฃ๊ฐ ์์ ๋
๊ฐ์ง ์์ญ์ ์๋ฃ๊ฐ ์กด์ฌํ์ง ์์ ๋๋ ์ ๊ทน ์ฃผ๋ณ์ ๊ท ์ผํ ๋งค์ง๋ง ์กด์ฌํ๋ค. ์ด๋ ๋ ๊ฐ์ ๊ฐ์ง ์ ๊ทน์ ๋ฌผ๋ฆฌ์ ์ผ๋ก ๋์นญ์ ์ธ ์ํ์ด๋ฏ๋ก, TIA๋ฅผ ํตํด
๋ณํ๋ ๋ ์ ์์ ์ ํธ $V_A$์ $V_B$๋ ๋์ผํ๋ค. ๋ฐ๋ผ์ ์ถ๋ ฅ ์ ์($V_{out}$)์ ์ด๋ก ์ ์ผ๋ก 0์ด ๋์ด ํํ ์ํ๋ฅผ ์ ์งํ๋ค.
2) ์๋ฃ๊ฐ ํต๊ณผํ ๋
์๋ฃ๊ฐ ์ ๊ทน ์๋ฅผ ์ง๋๊ฐ๊ฒ ๋๋ฉด, ์ ๊ทน ์ฌ์ด์ ํ์ฑ๋ ์ ๊ธฐ์ฅ ๊ตฌ์กฐ๊ฐ ๋ณํ๊ฒ ๋๋ค. ์ด๋ ์ ๊ทน์ ์ํผ๋์ค ๋ณํ๋ฅผ ์๋ฏธํ๋ค. ์ฆ, ์๋ฃ๊ฐ ์์นํ ๊ณณ์
์ ์ ์ ํธ๊ฐ ์๊ฐ์ ์ผ๋ก ๋ณํ๊ฒ ๋๋ฉด์ ์์ชฝ ์ ๊ทน ์ฌ์ด์ ์ ์ ์ฐจ์ด๊ฐ ๋ฐ์ํ๋ค.
์ธก์ ๋ ์ํผ๋์ค ์ ํธ ํํ์์ ์(+)๊ณผ ์(-)์ ํผํฌ๊ฐ ๊ต์ฐจํ๋ฉฐ ๋ํ๋๋ ์์์ ์๋จ์ ๊ฐ์ง ์ ๊ทน A, ์ค์์ ์ฌ๊ธฐ ์ ๊ทน, ํ๋จ์ ๊ฐ์ง ์ ๊ทน B๋ก
์ด์ด์ง๋ ๋์นญ์ ์ธ ๋ฌผ๋ฆฌ์ ์ ๊ทน ๋ฐฐ์น ์์์ ๊ธฐ์ธํ๋ค. ๊ตฌ์ฒด์ ์ธ ์๋ฆฌ๋ ๋ค์๊ณผ ๊ฐ๋ค.
์๋ฃ๊ฐ ์์ ๋ํํ์ฌ ์๋จ์ ์์นํ ์ฒซ ๋ฒ์งธ ๊ฐ์ง ์ ๊ทน A ์์ญ์ ์ง์
ํ๋ฉด, ์ ๊ทน A ์ฃผ๋ณ์ ์ ๊ธฐ์ฅ ๋ถํฌ๊ฐ ๊ต๋๋๋ฉฐ ์ํผ๋์ค์ ๋ณํ๋ฅผ ์ ๋ฐํ๋ค. ์ด๋ก
์ธํด ํํ์์ ์ฒซ ๋ฒ์งธ ๋ฐฉํฅ์ ํผํฌ๋ฅผ ํ์ฑํ๊ฒ ๋๋ค.
์ดํ ์๋ฃ๊ฐ ๊ณ์ ๋ํํ์ฌ ํ๋จ์ ๋ ๋ฒ์งธ ๊ฐ์ง ์ ๊ทน B ์์ญ์ ํต๊ณผํ ๋, ๋ฌผ๋ฆฌ์ ์ธ ์์น๊ฐ ๋์นญ์ ์ผ๋ก ๋์ด๊ฐ๋ฉด์ ์ ๊ธฐ์ฅ ๊ต๋ ์์ ์ญ์ ๋ฐ๋๋ก ๋ํ๋๋ค.
์ฆ, '๊ฐ์ง ์ ๊ทน A โ ์ฌ๊ธฐ ์ ๊ทน โ ๊ฐ์ง ์ ๊ทน B'์ ์์๋ก ๊ตฌ์ฑ๋ ์ผ์์ ๋์นญ์ ๊ตฌ์กฐ ๋๋ฌธ์ ๋ฌผ์ฒด๊ฐ ์ง๋๊ฐ ๋ ์ ํธ์ ๋ฐ์ ๋ฐฉํฅ์ด ์์ฐ์ค๋ฝ๊ฒ
๋ฐ๋๋ก ์ ๋๋์ด ๋ฐ๋ ๋ฐฉํฅ์ ๋ ๋ฒ์งธ ํผํฌ๋ฅผ ํ์ฑํ๋ ๊ฒ์ด๋ค.
๊ฒฐ๊ณผ์ ์ผ๋ก ์ ํธ์์ ๊ด์ฐฐ๋๋ ์/์ ๋ถํธ์ ๊ต์ฐจ๋ ์๋ฃ๊ฐ ๋ ๊ฐ์ ๊ฐ์ง ์ ๊ทน์ ์์ฐจ์ ์ผ๋ก ํต๊ณผํ๋ ๋์ ์ํ๋ฅผ ๋์นญ์ ์ผ์ ๊ตฌ์กฐ๊ฐ ๋ฐ์ํด ๋ธ ๋ฌผ๋ฆฌ์
์ฆ๊ฑฐ์ด๋ฉฐ, ์ฐจ๋ ์ฆํญ๊ธฐ๋ฅผ ํตํด ์ธ๋ถ ๊ณตํต ๋
ธ์ด์ฆ๋ฅผ ์ต์ ํ๋ฉด์ ์๋ฃ์ ํต๊ณผ ์์ ์ ๋ช
ํํ ์๋ณํ ์ ์๊ฒ ํด์ฃผ๋ ๋ณธ ์์คํ
์ ํต์ฌ์ ์ธ ํน์ง์ด๋ค.
์์คํ
์ ์ด์ ๊ฐ์ด ๋ฏธ์ธํ ์ ์ ์ฐจ์ด($\Delta V$)๋ฅผ ์ ํธ๋ก ์ก์๋ด๋ฉฐ, ์์ ์์์ ํตํด ์ค๋ช
ํ TIA์ LIA๋ฅผ ํตํด ์ ํธ๋ฅผ ์ฆํญํ๊ณ ๋
ธ์ด์ฆ๋ฅผ
์ ๊ฑฐํ์ฌ ์ต์ข
์ ์ผ๋ก ์๋ฃ๋ฅผ ๊ฒ์ถํ๋ค[11].
๊ทธ๋ฆผ 11. Sensing Electrodes๋ฅผ ์ด์ฉํ ์ ์ ์ฐจ์ด ๊ฒ์ถ ์๋ฆฌ; (a) ์๋ฃ๊ฐ ์ ๊ทน ์์ ์์ ๋ (b) ์๋ฃ๊ฐ ์ ๊ทน ์๋ฅผ ์ง๋๊ฐ ๋
Fig. 11. Principle of Voltage Difference Detection using Sensing Electrodes; (a) Absence
of an Object above the Electrode, (b) An Object Transiting above the Electrode
5. ์คํ ์ธก์
๋ณธ ์คํ์์ ์ฌ์ฉํ ์ผ์ ๊ท๊ฒฉ, LIA ์ค์ ๋ฐ ์คํ ์กฐ๊ฑด์ ํ 1์ ์ ๋ฆฌํ์๋ค. ํฌ๊ธฐ๋ณ ๋ฐ ๋งค์ง๋ณ ๋น๊ต ์คํ(๊ทธ๋ฆผ 12, ๊ทธ๋ฆผ 13)์ ๋์ผํ ์ธก์ ์กฐ๊ฑด์์ ์ํํ์์ผ๋ฉฐ, ์ผ์ ์ง ์๋จ์์ ์๋ฃ๋ฅผ ์์ ๋ํ์์ผ ์ ํธ์ ์งํญ ๋ฐ ์์ ๋ณํ๋ฅผ ์ธก์ ํ์๋ค. ์ด๋ฅผ ํตํด ์๋ฃ ํฌ๊ธฐ ๋ฐ
์ฌ์ง ํน์ฑ์ ๋ฐ๋ฅธ ์ ํธ ์๋ต ์ฐจ์ด๋ฅผ ์ ๋์ ์ผ๋ก ๋น๊ตํ์๋ค.
ํ 1. ์คํ ํ๊ฒฝ ๋ฐ ์ธก์ ์กฐ๊ฑด
Table 1. Experimental Setup and Measurement Conditions
|
Category
|
Parameter
|
Value
|
|
Sensor
|
Pipe
|
Material
|
PVC
|
|
Length
|
50 cm
|
|
Inner diameter
|
36 mm
|
|
Thickness
|
2 mm
|
|
Electrode
|
Material
|
Copper
|
|
Width
|
5 mm
|
|
Spacing
|
5 cm
|
|
TIA
|
Gain
|
2000 V/V (66 dB)
|
|
3-dB bandwidth
|
250 KHz
|
|
LIA
|
Excitation signal
|
Waveform
|
Sine wave
|
|
Frequency
|
100 kHz
|
|
Amplitude
|
5 $V_{pp}$
|
|
LPF order
|
4
|
|
Sampling rate
|
1.67 kSa/s
|
|
Target sample
|
|
Material
|
Steel / Glass / Rubber
|
|
Diameter
|
16 mm, 21 mm, 26 mm, 30 mm
|
|
Movement
|
Free-falling
|
5.1 ํฌ๊ธฐ๋ณ ์งํญ & ์์
๊ทธ๋ฆผ 12์ ์๋ฃ์ ํฌ๊ธฐ์ ๋ฐ๋ผ ์ธก์ ๋ ์ ํธ ๊ฐ์ ๊ฒฐ๊ณผ๋ฅผ ๋ํ๋ธ๋ค. ์ผ์ ํ์ดํ์ ๋ด๊ฒฝ(36 mm)์ ๊ณ ๋ คํ์ฌ ์๋ฃ์ ์์ ์ ์ธ ์์ ๋ํ๋ฅผ ์ ๋ํ๊ณ ๋ด๋ฒฝ๊ณผ์
์ถฉ๋์ ๋ฐฉ์งํ๊ณ ์ ์ธก์ ์๋ฃ์ ์ต๋ ์ง๊ฒฝ์ 30 mm๋ก ์ ํํ์๋ค. ์๋ฃ์ ํฌ๊ธฐ๊ฐ ๋ด๊ฒฝ์ ๊ทผ์ ํ ๊ฒฝ์ฐ, ๋ฌผ๋ฆฌ์ ๋ง์ฐฐ๋ก ์ธํ ๋
ธ์ด์ฆ ๋ฐ์ ๋ฐ ์์ ๋ํ
์กฐ๊ฑด ์ ํด์ ์ฐ๋ ค๋ก ์ธํด ์๋ฃ์ ์ง๊ฒฝ์ 30 mm ์ดํ๋ก ์ค์ ํ์๋ค. ๊ฐ์ฅ ํฐ 30 mm๋ 8.54 mV๋ก ๊ฐ์ฅ ๋์ ์ ํธ ๋ณํ๋์ ๊ธฐ๋กํ์๋ค. ์ด์ด
26 mm๊ฐ 6.11 mV, 21mm๊ฐ 2.75 mV๋ก ๋ํ๋ฌ๋ค. ๊ฐ์ฅ ์์ 16 mm์์๋ 1.07 mV๋ฅผ ๊ธฐ๋กํ์ฌ ์๋ฃ์ ํฌ๊ธฐ๊ฐ ์์์ง์ ๋ฐ๋ผ์
์ ํธ์ ์ธ๊ธฐ๊ฐ ๋น๋กํ์ฌ ์์์ง๋ ๊ฒฝํฅ์ ํ์ธํ์๋ค. ์์ ๋ณํ ์ธก์ ๊ฒฐ๊ณผ์์๋ ์งํญ ๊ฒฐ๊ณผ์ ์ ์ฌํ ์์์ด ๊ด์ฐฐ๋์๋ค. 30 mm๋ 1.46ยฐ์ ๊ฐ์ฅ
ํฐ ๋ณํํญ์ ๋ณด์๋ค. ์ด์ด 26 mm๋ 1.17ยฐ, 21 mm๋ 0.21ยฐ, 16 mm๋ 0.17ยฐ ๊ฐ์ด ๋์ ์๋ฃ์ ํฌ๊ธฐ๊ฐ ์์์ง์ ๋ฐ๋ผ ์์์ด
๊ฐ์ํ๋ ๊ฒ์ ํ์ธํ ์ ์์๋ค. ์ด์ ๊ฐ์ ์ ๋์ ๋ฐ์ดํฐ๋ ๋ณธ ์ผ์ ์์คํ
์ด ์๋ฃ์ ๋ฏธ์ธํ ํฌ๊ธฐ ๋ณํ๊น์ง๋ ๊ตฌ์ฒด์ ์ธ ์์น์ ๊ฒฉ์ฐจ๋ฅผ ํตํด ์๋ณํ ์
์์์ ์
์ฆํ๋ค.
๋งค์ง ๊ฐ ๋ถ๋ฅ ๊ฐ๋ฅ์ฑ์ ์ ๋์ ์ผ๋ก ํ๊ฐํ๊ธฐ ์ํด, ๋จผ์ ๋ณธ ์ฐ๊ตฌ์์์ baseline noise๋ฅผ ๋ค์๊ณผ ๊ฐ์ด ์ ์ํ์๋ค. baseline noise๋
์ด๋ฒคํธ(์
์/์๋ฃ ํต๊ณผ)๊ฐ ์กด์ฌํ์ง ์๋ ์์ ๊ตฌ๊ฐ์์, ์ฐจ๋ LIA์ LPF๋ฅผ ๊ฑฐ์น ์ถ๋ ฅ ์ ํธ์ ๋ํ๋๋ ๋ฏธ์ธํ ๋ณ๋์ ์๋ฏธํ๋ค. ๋ณธ ์ฐ๊ตฌ์์๋
์์ ๊ตฌ๊ฐ(0.20-0.24 ms)์์ ๊ณ์ฐํ ํ์คํธ์ฐจ($\sigma$)๋ก ์ ์ํ์๋ค. ์ธก์ ๊ฒฐ๊ณผ baseline ํฌ๊ธฐ๋ณ(16/21/26/30 mm)
ํ์คํธ์ฐจ๋ ๊ฐ๊ฐ 3.676 $\mu$V, 4.80 $\mu$V, 5.587 $\mu$V, 15.013 $\mu$V๋ก ๊ณ์ฐ๋์๋ค. ๋ํ ์๋ฃ ํต๊ณผ ์
๋ฐ์ํ๋ ์ต๋ ์งํญ ๋ณํ๋ $\Delta V_{max}$์ ํน์ง๊ฐ์ผ๋ก ๋ถ์ํ ๊ฒฐ๊ณผ, ๊ฐ ํฌ๊ธฐ๋ณ(16, 21, 26, 30 mm) $\Delta V_{max}$๋
1.07 mV, 2.75 mV, 6.11 mV, 8.54 mV๋ก ์ธก์ ๋์๋ค. ํฌ๊ธฐ ๊ฐ ์ต์ ์งํญ ์ฐจ์ด๋ 16 mm์ 21 mm ์๋ฃ ์ฌ์ด์์ ๋ฐ์ํ
$\Delta V_{min} = 1.68$ mV์ด๋ค. ์ ํธ๊ฐ ์ด๋ ์ ๋ ํฌ๊ธฐ ์ด์/์ดํ์ผ ๋ ์ด๋ค ๋ฌผ์ง์ธ์ง ํ์ ํ๋ ์๊ณ๊ฐ ๊ธฐ๋ฐ ๋ถ๋ฅ๊ฐ ๊ฐ๋ฅํจ์ ์ ๋์ ์ผ๋ก
ํ์ธํ ์ ์๋ค. ์๋ฅผ ๋ค์ด ์๋ํ ์์คํ
์ ์ฉ ์ ํฌ๊ธฐ ์๋ณ์ ์ํ ์งํญ ์๊ณ๊ฐ์ ์ค์ ์ธก์ ๊ฐ์ธ 1.07 mV, 2.75 mV, 6.11 mV,
8.54 mV๋ก ์ค์ ํ๋ฉด, $\Delta V_{max} \le 1.07$ mV๋ 16 mm ์ดํ์ ์๋ฃ, 1.07 mV $< \Delta V_{max}
\le 2.75$ mV๋ 16 mm ์ด๊ณผ 21 mm ์ดํ์ ์๋ฃ, 2.75 mV $< \Delta V_{max} \le 6.11$ mV๋ 21mm
์ด๊ณผ 26 mm ์ดํ์ ์๋ฃ, 6.11 mV $< \Delta V_{max} \le 8.54$ mV๋ 26 mm ์ด๊ณผ 30 mm ์ดํ ํฌ๊ธฐ์ ์๋ฃ๋ก
๊ฐ๊ฐ ์๋ณ ๋ฐ ๋ถ๋ฅ๊ฐ ๊ฐ๋ฅํ๋ค.
๊ทธ๋ฆผ 12. ์๋ฃ ํฌ๊ธฐ์ ๋ํ ์ ์ ํฌ๊ธฐ์ ์์ ๊ทธ๋ํ
Fig. 12. Amplitude and Phase Graph for Different Bead Sizes
5.2 ๋งค์ง๋ณ ์งํญ & ์์
๊ทธ๋ฆผ 13๋ ๋งค์ง์ ๋ํ ์ ํธ์ ์งํญ ๋ฐ ์์ ๋ณํ์ ๊ดํ ๊ฒฐ๊ณผ๋ฅผ ๋ํ๋ธ๋ค. ์ ๋์ฑ ๋ฌผ์ง์ธ ์ฒ ์ด 3.88 mV๋ก ๊ฐ์ฅ ๋์ ์ ํธ ๋ณํ๋์ ๊ธฐ๋กํ์๋ค. ์ด์ด
์ ์ ์ฒด์ธ ์ ๋ฆฌ๊ฐ 2.75 mV, ๊ณ ๋ฌด๊ฐ 2.31 mV ์์ผ๋ก ๋ํ๋ฌ๋ค. ์ด๋ฅผ ํตํด ๋งค์ง์ ํน์ฑ์ ๋ฐ๋ผ ์ ํธ์ ์ธ๊ธฐ๊ฐ ๋ค๋ฅธ ๊ฒฝํฅ์ ํ์ธํ์๋ค. ์์
๋ณํ ์ธก์ ๊ฒฐ๊ณผ์์๋ ์งํญ ๊ฒฐ๊ณผ์ ์ ์ฌํ ์์์ด ๊ด์ฐฐ๋์๋ค. ์ฒ ์ 1.00ยฐ๋ก ๊ฐ์ฅ ํฐ ๋ณํ๋์ ๋ณด์๋ค. ๋ฐ๋ฉด ์ ๋ฆฌ์ ๊ณ ๋ฌด๋ ๊ฐ๊ฐ 0.20ยฐ, 0.14ยฐ๊ฐ
๋์ ์ ๋์ฑ ๋ฌผ์ง์ธ ์ฒ ๋ณด๋ค ๋ณํ๋์ด ์ ์ ๊ฐ์ ๋ค์ ํ๋ฒ ํ์ธํ ์ ์์๋ค.
๋งค์ง ๋ํ ๋ถ๋ฅ ๊ฐ๋ฅ์ฑ์ ์ ๋์ ์ผ๋ก ํ๊ฐํ๊ธฐ ์ํ baseline noise์ ํ์คํธ์ฐจ๋ฅผ ์ธก์ ํ์๋ค. ์ธก์ ๊ตฌ๊ฐ์ ํฌ๊ธฐ๋ณ ์คํ๊ณผ ๊ฐ์ด ์์ ๊ตฌ๊ฐ(0.20-0.24
ms)์ ์ด์ฉํ์๋ค.
์ธก์ ๊ฒฐ๊ณผ baseline ํ์คํธ์ฐจ๋ ์ฒ /์ ๋ฆฌ/๊ณ ๋ฌด ๊ฐ๊ฐ 9.01 $\mu$V, 4.80 $\mu$V, 24.31 $\mu$V๋ก ๊ณ์ฐ๋์๋ค. ๋ํ
์๋ฃ ํต๊ณผ ์ ๋ฐ์ํ๋ ์ต๋ ์งํญ ๋ณํ๋ $\Delta V_{max}$์ ํน์ง๊ฐ์ผ๋ก ๋ถ์ํ ๊ฒฐ๊ณผ, ๊ฐ ๋งค์ง์ $\Delta V_{max}$๋ ๊ณ ๋ฌด
2.31 mV, ์ ๋ฆฌ 2.75 mV, ์ฒ 3.88 mV๋ก ์ธก์ ๋์๋ค. ๋งค์ง ๊ฐ ์ต์ ์งํญ ์ฐจ์ด๋ $\Delta V_{min} = 0.44$ mV ์ด๋ค.
๋งค์ง ์ญ์ ์๊ณ๊ฐ ๊ธฐ๋ฐ ๋ถ๋ฅ๋ฅผ ์ ์ฉํ ๊ฒฝ์ฐ ์งํญ ์๊ณ๊ฐ์ 2.31 mV ๋ฐ 3.88 mV๋ก ์ค์ ํ๋ฉด, $\Delta V_{max} \le 2.31$
mV๋ ๊ณ ๋ฌด, 2.31 mV $< \Delta V_{max} < 3.88$ mV๋ ์ ๋ฆฌ, $\Delta V_{max} \ge 3.88$ mV๋ ์ฒ ๋ก
์๋ณํ ์ ์๋ค.
๊ทธ๋ฆผ 13. ๋งค์ง์ ๋ํ ์ ์์ ํฌ๊ธฐ์ ์์ ๊ทธ๋ํ
Fig. 13. Amplitude and Phase Graph for Different Materials
6. ๊ฒฐ ๋ก
๋ณธ ๋
ผ๋ฌธ์์๋ ์ํตํ ์ ๊ทน ๊ตฌ์กฐ ๊ธฐ๋ฐ ๋น์ ์ด์ ์ํผ๋์ค ๋ณํ ๊ฒ์ถ ๋ฐฉ์์ ํตํด ์์ง์ด๋ ์๋ฃ๋ฅผ ๋ถ์ํ์๋ค. ๋จผ์ ์๋ฃ์ ํฌ๊ธฐ์ ๋ฐ๋ฅธ ์คํ ๊ฒฐ๊ณผ, ๊ฐ์ฅ
ํฐ 30 mm๋ 8.54 mV์ ์งํญ๊ณผ 1.46ยฐ์ ์์ ๋ณํ๋ฅผ ๊ธฐ๋กํ์๋ค. ์ด์ด 26 mm๋ 6.11 mV์ 1.17ยฐ, 21 mm๋ 2.75 mV์
0.21ยฐ, ๊ฐ์ฅ ์์ 16 mm๋ 1.07 mV์ 0.17ยฐ์ ๋ณํ๋ฅผ ๊ฐ๊ฐ ๋ํ๋ด์ด ํฌ๊ธฐ์ ๋น๋กํ ์ ํธ ์ฐจ์ด๋ฅผ ํ์ธํ์๋ค. ๋ํ ๋งค์ง์ ๋ฐ๋ฅธ ์คํ
๊ฒฐ๊ณผ, ์ ๋์ฑ ๋ฌผ์ง์ 3.88 mV์ ์ต๋ ์งํญ ๋ณํ์ 1.00ยฐ์ ์ต๋ ์์ ๋ณํ๋ฅผ ๋ณด์๋ค. ์ ์ ์ฒด์ธ ์ ๋ฆฌ์ ๊ณ ๋ฌด์ ์ต๋ ์งํญ๊ณผ ์์์ ๊ฐ๊ฐ 2.75
mV, 0.2ยฐ, 2.31 mV, 0.14ยฐ์ ๋ณํ๋ฅผ ๋ํ๋๋ค. ์ด๋ฅผ ํตํด ์ํตํ ๋น์ ์ด ์ ๊ทน ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ํ์ฉํ ์๋ฃ์ ํฌ๊ธฐ ๋ฐ ์ฌ๋ฃ ์๋ณ ๊ฐ๋ฅ์ฑ์ ํ์ธํ์๋ค.
๋ค๋ง, ๋ณธ ์คํ์์ ์ฌ์ฉ๋ ์ํตํ ์ผ์ ํ์ดํ์ ๋ด๊ฒฝ์ 36 mm๋ก ์ค๊ณ๋์๋ค. ๋ฐ๋ผ์ ์๋ฃ์ ์์ ๋ํ ์กฐ๊ฑด์ ์์ ์ ์ผ๋ก ์ ์งํ๊ณ ์ผ์ ํ์ดํ ๋ด๋ฒฝ๊ณผ์
๋ฌผ๋ฆฌ์ ์ถฉ๋์ ๋ฐฉ์งํ๊ธฐ ์ํด, ์ธก์ ํ ์ ์๋ ์๋ฃ์ ์ต๋ ์ง๊ฒฝ์ 30 mm๋ก ์ ํํ์ฌ ์คํ์ ์ํํ์๋ค. ๋ง์ฝ ์๋ฃ์ ์ง๊ฒฝ์ด ์ผ์ ๋ด๊ฒฝ์ ๊ทผ์ ํ๊ฒ
์ปค์ง ๊ฒฝ์ฐ ๋ด๋ฒฝ๊ณผ์ ๋ฌผ๋ฆฌ์ ์ธ ์ถฉ๋ ๊ฐ๋ฅ์ฑ์ด ๋์์ง๋ค. ์ด์ ๋ฐ๋ผ ์ธก์ ์ ํธ์ ๋
ธ์ด์ฆ๊ฐ ๋ฐ์ํ ์ ์๊ณ , ์์ ๋ํ ์กฐ๊ฑด์ ์ ์งํ๊ธฐ ์ด๋ ต๋ค. ๋ํ ์ ๊ทน
์ฌ์ด ๊ณต๊ฐ์์ ์๋ฃ๊ฐ ์ฐจ์งํ๋ ๋น์จ์ด ๋์์ง์ ๋ฐ๋ผ ์ ๊ธฐ์ฅ ๋ถํฌ์ ๋ณํ๊ฐ ์ ํ ๊ด๊ณ๋ฅผ ๋ฐ๋ฅด์ง ์์ ๊ฐ๋ฅ์ฑ์ด ์์ผ๋ฉฐ, ์ด์ ๋ฐ๋ผ ์ธก์ ์ ํธ๊ฐ ์๋ต ํฌํํ๊ฑฐ๋
๋น์ ํ์ ์ธ ์๋ต ํน์ฑ์ ๋ณด์ผ ๊ฐ๋ฅ์ฑ์ด ์๋ค. ๋ฐ๋ผ์ ๋ณธ ์ฐ๊ตฌ ๊ฒฐ๊ณผ๋ 30 mm ์ดํ์ ์ง๊ฒฝ ๋ฒ์์์ ์ ํจํ๋ฉฐ, ๊ทธ ์ด์์ ์์ญ์์์ ์๋ต ํน์ฑ์ ๋ณธ
์ฐ๊ตฌ์ ๋ฒ์๋ฅผ ๋ฒ์ด๋๋ ํ๊ณ๋ก์ ํฅํ ์ถ๊ฐ์ ์ธ ์ฐ๊ตฌ๊ฐ ํ์ํ๋ค.
Acknowledgements
This work was supported by the National Research Foundation of Korea(NRF) grant funded
by the Korea government(MSIT) (No. RS-2025-02303659).
Reference
H. Zeng, "Design of EM Sensor for Non-Contact Detection of Defective Wire Harness
in Conveyor System," Sensors, vol. 22, no. 19, pp. 7350, 2022.

N. Afsarimanesh, A. Nag, M. E. E. Alahi, T. Han, S. C. Mukhopadhyay, "Interdigital
sensors: biomedical, environmental and industrial applications," Sensors and Actuators
A: Physical, vol. 305, pp. 111923, 2020.

X. Hu, W. Q. Yang, "Planar capacitive sensors โ designs and applications," Sensor
Review, vol. 30, no. 1, pp. 24-39, 2010.

W. Q. Yang, "Hardware design of electrical capacitance tomography systems," Measurement
Science and Technology, vol. 7, no. 3, pp. 225-232, 1996.

M. H. Rahiman, R. A. Rahim, Z. Zakaria, "Design and performance evaluation of the
electrical capacitance tomography sensors for process imaging," Sensors, vol. 8, no.
10, pp. 6331-6349, 2008.

M. L. Meade, "Lock-in Amplifiers: Principles and Applications," Peter Peregrinus,
London, U.K., 1983.

J. Y. Kim, G. P. Park, S. M. Sim, J. M. Kim, "Contactless Impedance Measurement Using
Lock-in Amplifier," pp. PS2-62, 2025.

E. Bruun, "Feedback Analysis of Transimpedance Operational Amplifier Circuits," IEEE
Transactions on Circuits and Systems I: Fundamental Theory and Applications, vol.
40, no. 4, pp. 275-281, 1993.

R. Pallรกs-Areny, J. G. Webster, "Common-Mode Rejection Ratio in Differential Amplifiers,"
IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement, vol. 40, no. 3, pp. 445-452,
1991.

P. Baranov, I. Zatonov, B. B. Duc, "Dual Phase Lock-In Amplifier with Photovoltaic
Modules and Quasi-Invariant Common-Mode Signal," Electronics, vol. 11, no. 9, pp.
1512, 2022.

E. J. W. Verboom, "Recent Advances in Electrical Impedance Sensing Technology for
Single-Cell Analysis," Biosensors, vol. 11, no. 11, pp. 470, 2021.

์ ์์๊ฐ
๊น์ค์ (Jun-Young Kim)
He is currently working toward the B.S. degree in Electronic Engineering from Jeonbuk
National University, Jeonju, Korea, where he is expected to graduate in 2026. His
research interests include semiconductor processing, and MEMS.
๋ฐ๊ธฐ์จ (Gi-Ppeum Park)
She is currently working toward the B.S. degree in Electronic Engineering from Jeonbuk
National University, Jeonju, Korea, where he is expected to graduate in 2027. Her
research interests include MEMS and analog circuits.
He received a B.S. degree in electronic engineering from Jeonbuk National University,
Jeonju, Korea, in 2014, and his integrated Ph.D. degree in electronic and information
engineering from Jeonbuk National University, Jeonju, Korea, in 2021. From 2019 to
2022, he worked as a researcher at the Korea Institute of Industrial Technology, where
he focused on inkjet-printed electrodes. From 2023 to 2025, he served as a senior
research engineer at ENJET Inc, Suwon, Korea, where he specialized in inkjet head
development. Since 2025, he has been working as a research assistant professor at
Jeonbuk National University, Jeonju, Korea. His research interests include printed
electronics, inkjet printing technology, and inkjet head fabrication.
Jung-Mu Kim was born in Jeonju, Korea, in 1977. He received a B.S. degree in electronic
engineering from Ajou University, Suwon, Korea, in 2000, M.S. and PhD degrees in electrical
engineering and computer science from Seoul National University, Seoul, Korea, in
2002 and 2007, respectively. From 2007 to 2008, he was a Postdoctoral Fellow at University
of California, San Diego. In 2008, he joined the faculty of the Division of Electronic
Engineering, Jeonbuk National University, where he is currently a full professor.
His research interests include the IMU, SPR sensor, RF MEMS for 5G/6G and ink-jet
printing, and 3D printing-based printed electronics.